一,、 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CIF等離子去膠機(jī) 采用電感耦合各向同性（各個(gè)方向）等離子激發(fā)方式,，適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計(jì),，結(jié)構(gòu)緊湊,，漂亮大氣，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，使得處理樣品量更大,，適用范圍更廣，性能更穩(wěn)定,，操作更簡(jiǎn)便,，性價(jià)比更高，使用成本更低,，實(shí)用性更強(qiáng),，更容易維護(hù)。特別適合于大學(xué),，科研院所和微電子,、半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，對(duì)電路板、外延片,、芯片,、環(huán)氧基樹脂、MEMS制造過程中犧牲層,，干刻或濕刻處理前或后,，對(duì)基材進(jìn)行聚合物剝離、金屬剝離,、掩膜材料等光刻膠去除,，以及晶圓表面預(yù)處理等。

二,、CIF等離子去膠機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn)

1. PLC工控機(jī)控制整個(gè)去膠過程,，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式,。

2. 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,，圖形化用戶操作界面顯示，自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),，20個(gè)配方程序,，可存儲(chǔ)、輸出,、追溯工藝數(shù)據(jù),，機(jī)器運(yùn)行、停止提示,。

3. 石英真空倉(cāng),，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無(wú)污染,。

4. 可選用石英舟,，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。

5. 有效處理面積大,，可處理最大直徑200mm晶元硅片,。

6. 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題,。

7. 采用防腐數(shù)字流量計(jì),，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),，氣體分配均勻?？奢斎胙鯕?、氬氣,、氮?dú)?、四氟化碳,、氫氣或混合氣等氣體。

8. HEPA高效過濾,，氣體返填吹掃,，防止二次污染。

9. 處理高效均勻,，效率高,，工藝重復(fù)性好。

10. 樣品處理溫度低,，無(wú)熱損傷和熱氧化,。

11. 安全保護(hù)，倉(cāng)門打開,，自動(dòng)關(guān)閉電源,。

三、技術(shù)參數(shù)