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深圳市矢量科學儀器有限公司

噴涂膠機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號AS8

品牌SUSS

廠商性質經銷商

所在地德國

更新時間:2024-09-06 15:03:11瀏覽次數(shù):835次

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在噴涂法中,,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上,。經過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層,。 噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細小的液滴

1.產品介紹:  

AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產環(huán)境下常用工藝的需要,,對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工,,都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產環(huán)境,。

2.產品優(yōu)勢:

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠,,且能避免溝槽中堆膠。

噴霧設計,,可實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復性的優(yōu)化

基板尺寸最大直徑為200 mm,,方形基板最大邊長為 6"

最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng),以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程

有掩膜光刻機

1.手動,、半自動,、全自動有掩膜光刻機$r$n2.高分辨率掩模對準光刻,

無掩膜/激光直寫光刻機

無掩膜/激光直寫光刻機 參數(shù):1. 光源:375 nm,、385 nm,、

電子束光刻系統(tǒng)

電子束光刻系統(tǒng) 技術參數(shù):$r$n1.最小線寬≤8nm 光柵周期

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