1.產品介紹:
AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產環(huán)境下常用工藝的需要,,對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工,,都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產環(huán)境,。
2.產品優(yōu)勢:
跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術
頂部邊緣覆蓋的保形涂膠,,且能避免溝槽中堆膠。
噴霧設計,,可實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復性的優(yōu)化
基板尺寸最大直徑為200 mm,,方形基板最大邊長為 6"
最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng),以避免交叉污染
帶有MMC控制器軟件的觸摸屏
全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程