DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的輸出穩(wěn)定能力且性能可靠的射頻電源,，具有優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源由于其良好的成膜能力,，被廣泛運用在半導體制程的薄膜工藝中,，RGA系列射頻電源成膜速度快，可以實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制,，能夠減少能源損耗,，提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源主要運用于等離子蝕刻,，CVD和濺射等應用,，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性,。

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：DAIHEN

設備型號：NX-RGA-10G                                                                                                                  

AC 電源輸入：3 phase~ ,，180~242V ，37A,，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz,，1000W

通訊接口：DeviceNet，DI/O I/F I/L,，Maintenance,，Display

設備散熱：風冷+水冷散熱

水冷進水要求：MAX Torque 30N·m

設備重量：60kg