DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，在實際運行過程中表現(xiàn)出了優(yōu)良性能和可靠性,。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜速度快,，因此被廣泛的應用在半導體制程的薄膜工藝中,。該型射頻電源設(shè)備具有穩(wěn)定的射頻輸出和精準控制能力，主要運用于等離子蝕刻,，CVD和濺射等應用,，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性,。

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：NX-RGA-50G1

AC 電源輸入：3 phase~ ,，180~242V，37A,，50/60Hz                                                                                          

RF 射頻輸出：13.56MHz,，5000W

通訊接口：DI/O I/F I/L，Maintenance,，Display,，Pulse Out

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進水要求：MAX Torque 30N·m

設(shè)備重量：60kg