COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW RF Generator 可提供優(yōu)秀的脈沖品質(zhì),，穩(wěn)定性及功率投射準(zhǔn)確性,，使其不僅對于非半導(dǎo)體的應(yīng)用,，同時(shí)對于如等離子沉積及蝕刻等的半導(dǎo)體類應(yīng)用來說也是可靠的選擇,。COMET cito Series 可以長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，故障率低,，能夠在提高產(chǎn)能的同時(shí)降低運(yùn)行成本,。

COMET cito Series 高頻射頻電源 優(yōu)點(diǎn)

1.具有更好的等離子穩(wěn)定性，可確保工藝的重復(fù)性

2.具有高筑波比的理想脈沖波形

3.具有更精確的功率輸出,，可對等離子工藝進(jìn)行更精確的控制

4.對于電纜長度的低敏感性可使其更易于與設(shè)備整合

5.具有更高的工作效率及更低的使用成本

COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW 射頻發(fā)生器 規(guī)格

型號：cito-1370-WC7B-P37A-FF

AC輸入：400~480V,，3phase，50/60Hz,，3x22A @400V

RF輸出：7000W,，13.56MHz，837V,，50 Ohm

通信接口：RS232,，Ethernet，DB25 Analog/Digital,，9-pin matching bus

安裝機(jī)架：標(biāo)準(zhǔn)19英寸機(jī)架裝配