COMET 高頻射頻電源 cito1310 13.56MHz 1KW RF Generator 是一款具有優(yōu)良性能的高頻射頻電源,，該設(shè)備適用于RF濺射,、蝕刻,、CVD和PVD等,。COMET cito Series 電源設(shè)備采用的固態(tài)設(shè)計可靠性高,，擁有成本低，該系列設(shè)備可提供優(yōu)秀的脈沖品質(zhì),，穩(wěn)定性及功率投射準(zhǔn)確性,，使其不僅對于非半導(dǎo)體的應(yīng)用，同時對于如等離子沉積及蝕刻等的半導(dǎo)體類應(yīng)用來說也是可靠的選擇,。

COMET cito Series 高頻射頻電源 特點(diǎn)

1.長時穩(wěn)定運(yùn)行/低故障率 — 可提高產(chǎn)能,，同時降低運(yùn)行成本

2.具有高準(zhǔn)確性，可重復(fù)性及穩(wěn)定性 — 滿足您的工藝要求

3.具有更高的功率輸出效率 — 能夠產(chǎn)生更高的經(jīng)濟(jì)及環(huán)保效益

COMET 高頻射頻電源 cito1310 13.56MHz 1KW RF Generator 規(guī)格

型號：COMET cito-1310-ACNA-N25C-FF

AC輸入：187~265V,，50/60Hz,，6.0A

RF輸出：1000W，13.56MHz,，316V,，50 Ohm

通信接口：RS232, Ethernet, DB25 Analog/Digital, 9-pin matching bus

安裝機(jī)架：標(biāo)準(zhǔn)19英寸機(jī)架裝配

散熱：風(fēng)冷