AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡可實現(xiàn)快速、精確,、可靠的數(shù)字調(diào)諧匹配，AE NavigatorⅡ 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW RF Matching Box 使用*的數(shù)字技術可縮短調(diào)諧和匹配響應時間,。

AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法,，高級脈沖控制，可在脈沖時調(diào)諧,，通過集成的內(nèi)部射頻傳感器深入監(jiān)測等離子體,。內(nèi)部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗,，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件,，可通過用戶計算機進行監(jiān)測和控制,。

AE NavigatorⅡ 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW RF Matching Box

技術參數(shù)

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優(yōu)點

1.快速調(diào)諧和縮短匹配響應時間

2.加強過程控制

3.提高設備效率和產(chǎn)品產(chǎn)量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數(shù)字架構,，采用基于模型的快速調(diào)諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調(diào)失真（IMD）抗擾,，針對多頻率應用

5.實時工藝功率和阻抗測量