AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)快速,、精確、可靠的數(shù)字調(diào)諧匹配,，AE Navigator 10013 射頻匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射頻匹配網(wǎng)絡(luò) 使用*的數(shù)字技術(shù)可縮短調(diào)諧和匹配響應時間,。

AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制,，可在脈沖時調(diào)諧,，通過集成的內(nèi)部射頻傳感器深入監(jiān)測等離子體,。內(nèi)部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗,，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件,，可通過用戶計算機進行監(jiān)測和控制,。

技術(shù)參數(shù)

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

AE Navigator 10013 射頻匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)

優(yōu)點

1.快速調(diào)諧和縮短匹配響應時間

2.加強過程控制

3.提高設(shè)備效率和產(chǎn)品產(chǎn)量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數(shù)字架構(gòu),，采用基于模型的快速調(diào)諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調(diào)失真（IMD）抗擾,，針對多頻率應用

5.實時工藝功率和阻抗測量