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一,、核心參數(shù)：  

價(jià)格區(qū)間：10萬-50萬  

產(chǎn)地類別：國產(chǎn)原子層沉積系統(tǒng)（ALD）  

襯底尺寸：4寸  

工藝溫度：RT-300℃  

前驅(qū)體數(shù)：4組液態(tài)或固態(tài)前驅(qū)體  

重量：40KG  

尺寸(WxHxD)：500*400*400mm  

均勻性：99.9%  

二、原子層沉積（Atomiclayerdeposition)是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù),，具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度,、無針孔,、高保形的納米薄膜。  

三,、原子層沉積系統(tǒng)廠家產(chǎn)品描述：  

廈門韞茂科技公司研發(fā)的超小型桌式ALD原子層沉積設(shè)備是*材料研究的有力設(shè)備之一,，它可以在4寸晶元（向下兼容）和微納米粉體上實(shí)現(xiàn)均勻可控的原子層沉積，具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,，設(shè)各配有獨(dú)立控制的300℃完整加熱反應(yīng)腔室系統(tǒng),，保證工藝溫度均勻，該系統(tǒng)具有粉末樣品桶,、晶元載盤，全自動溫控制,、ALD前驅(qū)體源鋼瓶,、自動溫度控制閥、工業(yè)級安全控制,，以及現(xiàn)場RGA,、QCM、臭氧發(fā)生器,、手套箱等設(shè)計(jì)選項(xiàng),，是*能源材料、催化劑材料,、新型納米材料研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具  

四,、廈門韞茂科技有限公司為您提供原子層沉積系統(tǒng)廠家的參數(shù)、價(jià)格,、型號,、原理等信息，產(chǎn)地為福建,、品牌為韞茂,，型號為MiniDesktopALD，價(jià)格為50萬RMB,，更多相關(guān)信息可咨詢,，公司客服電話7*24小時為您服務(wù)。  

五,、售后服務(wù)：  

保修期：1年  

是否可延長保修期：否  

現(xiàn)場技術(shù)咨詢：有  

免費(fèi)培訓(xùn)：1.設(shè)備出廠前,，提供至少2人一周的設(shè)備原廠培訓(xùn)。2.設(shè)備在現(xiàn)場完成安裝調(diào)試  

免費(fèi)儀器保養(yǎng)：有需要可安排  

保內(nèi)維修承諾：保修期內(nèi)（除天災(zāi)和人為損害外）部件,、元件費(fèi)用,、出差費(fèi)用均由我司承擔(dān)

報(bào)修承諾：質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)故障時我司將及時響應(yīng),，并在8小時內(nèi)派技術(shù)人員到現(xiàn)場解決故障  

六、技術(shù)參數(shù)：