近日,，易度儀器收獲喜訊，其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計系列產(chǎn)品,，通過中國計量科學(xué)研究院的計量器具型式評價試驗,，獲得中國..層流質(zhì)量流量計計量器具型式批準資質(zhì)證書（簡稱CPA證書）,。產(chǎn)品精度達到國家可批準.高級別1.0級，重復(fù)性0.1%,，響應(yīng)時間0.01S,。
一直以來，小微氣體,、液體流量的測量和控制被西方發(fā)達國家技術(shù)壟斷,，這項技術(shù)在眾多制造領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體,、生物制藥,、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計的研發(fā)和誕生,，是公司博士,、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng)業(yè)骨干，聯(lián)合國內(nèi)..的..學(xué)者等組成研發(fā)團隊,，面對國外技術(shù),，自2011年以來恪守流體測控領(lǐng)域，自主創(chuàng)新,，不懈努力的結(jié)晶,。
苦心孤詣：七年研發(fā)，挑戰(zhàn)世界難題
2011年,，這個以“80后"為主力軍的研發(fā)團隊開始向國外技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn),，當(dāng)時國外進口的設(shè)備獨步天下，相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達國家壟斷,，國內(nèi)只有個別廠商可以生產(chǎn)一些低端產(chǎn)品,，精度低，重復(fù)性差,，只能配套于低端產(chǎn)業(yè),，由于缺乏核心傳感器技術(shù)，即便拆開了國外的設(shè)備,，也難以突破,。無數(shù)事實表明：試圖通過仿制國外產(chǎn)品的路是走不通的,。從研發(fā)一開始,，易度團隊就清醒地認識到，精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品,，只有通過自主創(chuàng)新,，遵循“概念論證"——“關(guān)鍵技術(shù)驗證"——“方案驗證"——“原理樣機"——“工程樣機"——“產(chǎn)品樣機"——“產(chǎn)品"的技術(shù)路線，才能真正掌握技術(shù),，研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品,。
這一技術(shù)路線耗時之長、成本之高、風(fēng)險之大,，他們中很多人放棄了高薪的工作,、舒適的生活，有家人的不理解,，也有周圍人的嘲笑,。當(dāng)時在微流量測量領(lǐng)域擺在研發(fā)團隊面前的有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學(xué)原理為基礎(chǔ)的熱式質(zhì)量流量計，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場,，是技術(shù)的主流,，技術(shù)成熟度較高，但國內(nèi)一直無法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心,；另外一條是以“哈根泊肅葉定理"為基礎(chǔ)的層流質(zhì)量流量計,，其核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝極為復(fù)雜,，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計的國際..廠商也望而卻步,。幾十年來，全球范圍內(nèi)..取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國公司,，但離實現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應(yīng)用還有不小的距離,。
最終，考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟,，發(fā)展空間趨于飽和,，在充分調(diào)研后，這群80后“初生牛犢,，擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間,，但技術(shù)門檻更高的層流質(zhì)量流量計技術(shù)路線，開始專注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器"的研發(fā),。
獨立自主：攻克核心,，成就中國..
毫不夸張地說，一個國家微流體測控水平的高低,，決定著制造業(yè)水平的高低,。小微流量測控領(lǐng)域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過9個數(shù)量級,，而每次測量響應(yīng)速度要小于0.01s,，連續(xù)兩次測量的相對誤差小于千分之一，技術(shù)難度可想而知,。
易度團隊歷時七年苦心孤詣的研究,，從2013年..款層流傳感器原理驗證機的誕生，到2014年..代控制板原理驗證機的研發(fā),，2015年底..臺層流質(zhì)量流量計工程樣機的研發(fā)成功,，一直到2017年6月,，..代層流質(zhì)量流量計的問世，2018年底順利通過國家計量院的型式評價認證,。這其中沒有現(xiàn)成的經(jīng)驗可以借鑒,，所有的工作都要從零開始，一遍一遍地設(shè)計,，一次一次地試驗,，失敗了，重新開始,，重新改進,，研發(fā)過程是痛苦的，但值得驕傲的是,，易度團隊堅持了下來,，啃下了一個個硬骨頭，并掌握了這項核心技術(shù),，成就了今天的產(chǎn)品,。
目前該項技術(shù)已獲國家發(fā)明..兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性,。在國內(nèi),，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過國家.高機構(gòu)的驗證,，成為中國..通過認證的通用型層流質(zhì)量流量計生產(chǎn)商,。
永無止境：高效專注 增添中國力量
易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計和控制器，不僅能實現(xiàn)對氣體和液體質(zhì)量流量的測量,，還能精準控制,，是國內(nèi)..款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過無數(shù)次技術(shù)改進,，產(chǎn)品正日趨成熟,，實現(xiàn)了在-20℃到60℃環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級以內(nèi),，重復(fù)性0.1%,，響應(yīng)時間達到0.01S。
聚焦用戶過程控制,，半導(dǎo)體300多項關(guān)鍵工藝中,，有光刻、氣相沉積,、單晶生產(chǎn)等超過70%的工藝項點都與微流量測量相關(guān),；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過程中，.常用的方法增強等離子的化學(xué)氣相沉積,，也需要精準配給氣體和液體,；等離子體發(fā)動機作為未來航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)節(jié),，需要測量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)量流量,，這是等離子體發(fā)動機穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測試工藝。
近五年,，全球微流量測量領(lǐng)域業(yè)務(wù)每年以30%的速度迅猛增長,，隨著以芯片制造、生物醫(yī)藥,、新材料,、3D打印和微納制造為代表的新興制造業(yè)的迅猛發(fā)展，更加精細化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更高要求,。在當(dāng)前國家大力發(fā)展制造業(yè)的背景下,，易度儀器有責(zé)任也有信心繼續(xù)精鉆技術(shù)，專注流體測控領(lǐng)域,，解決微流量測控領(lǐng)域難題,。
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