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更新時(shí)間：2022-01-29 11:03:57瀏覽次數(shù)：338
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子 |
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| 可測(cè)電阻率： | 0.0001～19999Ω?cm |
XNC-KDB-3型雙組合四探針電阻率測(cè)試儀
（以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀）是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶,、鍺單晶,、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層,、外延,、離子注入、化學(xué)氣相,、或其他淀積工藝在硅襯底上形成的薄膜方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）,、測(cè)試架及四探針頭組成,。
雙組合測(cè)試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測(cè)量半導(dǎo)體電阻率或薄層電阻的方法。在本測(cè)試方法中,，在測(cè)試樣品的每個(gè)測(cè)量位置上,，以兩種不同的方式（配置）將探針連接到提供電流和測(cè)量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置"或“配置切換"測(cè)量,。單組合四探針相比,，用較小間距的探針頭就可以進(jìn)行高精度的測(cè)量，從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率,。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定,。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí),，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,，更好地保護(hù)箔膜,。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭"，探針游移率在0.1～0.2%,。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度,。本機(jī)可加配KDY測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度,、直徑,、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率,、徑向電阻率的最大百分變化,、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,，給測(cè)量帶來(lái)很大方便,。
XNC-KDB-3型雙組合四探針電阻率測(cè)試儀主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測(cè)量范圍：
可測(cè)電阻率：0.0001～19999Ω•cm
可測(cè)方塊電阻：0.001～199999Ω/□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA 0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸入阻抗：≥1000MΩ
（4）測(cè)量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%
整機(jī)測(cè)量精度：1－1000歐姆•厘米≤3%
（5）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，電源隔離濾波,，無(wú)強(qiáng)光直接照射
（7）重量,、體積：
主機(jī)重量：6.5kg
體積：420（含前把手）×360×150（含底腳）（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）
該儀器可選配KDY四探針測(cè)試系統(tǒng)連接計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行測(cè)量，測(cè)試結(jié)果更加精確,、簡(jiǎn)便,，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，可進(jìn)行導(dǎo)出excel等操作,，便于保存數(shù)據(jù),。
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