XNC-KDY-4型四探針電阻率測試儀
(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶,、硅片)電阻率,,以及擴(kuò)散層、外延層,、ITO導(dǎo)電薄膜,、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機(jī)),、測試架及四探針頭組成,。
本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測量電阻率(電壓表)的同時,,另一塊數(shù)字表(電流表以千分之二的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流,。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,,使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),,在測量某些箔層材料時,,在探頭壓觸樣品后再接通恒流源可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,,更好地保護(hù)薄膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭",,探針游移率在0.1~0.2%,。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度,。
XNC-KDY-4型四探針電阻率測試儀 主機(jī)技術(shù)參數(shù)
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.001~1999Ω•cm(10-3~10+3Ω•㎝)
可測方塊電阻:0.01~19000Ω/□(10-2~10+4Ω/□)
注意:使用0.1檔電流測方阻時,由于受數(shù)字表位數(shù)的限制,電壓表上讀出的方阻數(shù)均要×10,。
例如電流表在0.1mA檔,電流選0453,
電壓表讀數(shù)為1900時, 方阻值為:1900×10=19000(Ω/□);
電壓表讀數(shù)為860時,方阻值為:860×10=8600(Ω/□)。
電流表選在1,、10,、100 mA檔時不存在以上問題。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.01~100mA 四檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.01~0.10mA,,0.10~1.0mA,,1.0~10mA,10~100mA
恒流精度:各檔均不低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測量范圍:0~199.9mV
靈敏度:100μV
準(zhǔn)確度:0.2%(±2個字)
輸出電阻:≥1000MΩ
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾,,無強(qiáng)光直接照射
(6)重量,、體積:
主機(jī)重量:4.8 kg
體積:425×342×158(單位:mm 長度×寬度×高度)