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| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 微流控芯片系統(tǒng) |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子/電池 |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
對準(zhǔn)精度：±0.8μm
大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch,、3 inch、4 inch,、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm,、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：350W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻機技術(shù)特點：
創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平,；真空接觸自動曝光,；樣片升降、調(diào)平、接觸,、曝光,、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明,；可連續(xù)設(shè)定分離間隙,；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠,、操作方便,、自動化程度高等特點。
