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| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 微流控芯片系統(tǒng) |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子/電池 |
產品簡介
詳細介紹
產品名稱：TYG-2000/T2步進投影光刻機
主要技術指標：
曝光場面積：20mm×20mm
分辨力：2μm,；
照明不均勻性：±2%
物鏡倍率：2.5倍(縮小)
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
基片尺寸：4 英寸
工件臺運動范圍：X：>150mm、 Y：>150mm,；
工件臺運動定位精度：±0.65μm
調焦臺運動靈敏度：1μm
對準精度：±0.5μm
調焦臺運動行程：5mm
檢焦：CCD檢測,，檢測精度0.5微米
轉動臺行程：±4°以上
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進投影光刻機主要技術配置：
（1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節(jié)臺; 光學系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準直鏡負透鏡,、蠅眼透鏡組（79個透鏡）,、i線濾光片、場鏡1,、冷光反射鏡1,、反射鏡2; 冷卻風扇
（2）工件臺系統(tǒng)：X臺：電機驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）,、導軌2（日本THK）,、光柵（美國） Y臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）,、導軌2（日本THK）,、光柵2（美國） 轉動臺：電機及驅動器（日本樂孜），轉動軸系 調平臺：電機及驅動器（3套）,、調平機構 Z臺：電機及驅動器（日本樂孜）,、絲杠、上升導向機構; 承片臺：3英寸（可增加4英寸,、2英寸,、1英寸等）
（3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學檢測系統(tǒng),、CCD、焦面檢測軟件
（4）對準系統(tǒng)：對準光學檢測系統(tǒng)（2套）,、CCD（2套）,、對準軟件
（5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng),、軟件,、計算機、顯示器,、接口
（6）其他部件：底座 減震器（4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥,、旋轉氣缸、減壓閥,、壓力表,、真空表
（7）其他附件：真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺（靜音泵）;管道
