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SEM冷凍真空傳輸系統(tǒng)示意圖

SEM冷凍真空傳輸系統(tǒng)參數(shù)

•獨立控制系統(tǒng)

•獨立真空系統(tǒng)

•高匹配360°(無限)旋轉(zhuǎn)冷臺

•冷臺傾轉(zhuǎn)角度>55°

•冷臺溫度≤180℃

•冷臺降低溫時間:≤30min

•冷阱溫度≤l90℃

•冷阱降低溫時間:≤l5min

•冷臺,、冷阱設(shè)計烘烤功能

•烘烤溫度:80℃

•提供定制化樣品梭服務(wù)

360°旋轉(zhuǎn)冷臺

功能：用于裝載樣品梭及提供低溫保護

參數(shù)

•旋轉(zhuǎn)角度：0-360°

•控溫范圍：-180℃~80℃

•控溫精度：≤土0.1℃

•降溫速度：≤30min

冷阱

功能：低溫保護,、吸附污染物

參數(shù)

•控溫范圍：≤-190℃

•控溫精度：≤士0.5℃

•降溫速度:≤15min

真空轉(zhuǎn)移腔

功能：用于樣品的真空轉(zhuǎn)移

參數(shù)

•可實現(xiàn)手套箱-FIB真空相互轉(zhuǎn)移

•可實現(xiàn)液氮內(nèi)樣品-FIB冷凍制樣真空轉(zhuǎn)移

真空過度倉

功能：實現(xiàn)樣品到電鏡的真空過度轉(zhuǎn)移

參數(shù)

•操作快速

•便捷獨立真空系統(tǒng)

•匹配電鏡真空

低溫系統(tǒng)

功能：用于為冷臺,、冷阱提供冷源

參數(shù)

•液氮容積35L

•持續(xù)工作時間>8h

•設(shè)計不停機添加液氮端囗

控制系統(tǒng)

功能：用于系統(tǒng)的控制、集成和交互

參數(shù)

•溫度顯示及控制

•真空系統(tǒng)集成與控制

•選配液氮工作站,，可滿足樣品的冷進冷出需求