目錄:北京儀光科技有限公司>>臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析>>澤攸SEM原位解決方案>> PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2025-03-10 17:50:48瀏覽次數(shù):911評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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PicoFemto NI-100 SEM納米力測(cè)量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中,,使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究,。該系統(tǒng)由一個(gè)三維壓電驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和一個(gè)納米力測(cè)量探針組成,。樣品安裝方式靈活多樣,,可在三維納米位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下,,達(dá)到超過5 mm的準(zhǔn)確定位,定位分辨率優(yōu)于100 nm,,以使待測(cè)量區(qū)域準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)力探針,。
力探針同樣由壓電驅(qū)動(dòng),在軸向達(dá)到100 um的伸縮長度,,位移分辨率優(yōu)于0.25mm,。由力傳感器準(zhǔn)確測(cè)量所施加的力的載荷,可測(cè)拉力和壓力,。并有不同的大量程的力傳感器可選配,,達(dá)到很好的測(cè)量效果。通過搭配電學(xué),、光學(xué),、加熱等模塊,,PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)還可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合,、力/電耦合,、力/熱/晶體取向耦合等多場(chǎng)耦合研究,。
PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表
部分國內(nèi)用戶
部分國外用戶
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