日本tekhne密閉的露點(diǎn)計(jì),,SF6純度測(cè)量?jī)xMBW973-SF6

特征
抽查
SF6氣體的露點(diǎn)控制
氣體變壓器/氣體斷路器
氣體絕緣開關(guān)柜
半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
SF6氣體回收再利用
主要用途
日本tekhne密閉的露點(diǎn)計(jì),,SF6純度測(cè)量?jī)xMBW973-SF6
特點(diǎn)
環(huán)保測(cè)量?jī)x
SF6(六氟化硫)氣體是一種溫室氣體,其溫室氣體排放目標(biāo)是《京都議定書》設(shè)定的,,據(jù)說(shuō)其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的 23,400倍,。SF6氣體在斷路器,變壓器,,半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體,。為了保持其絕緣性,必須測(cè)量水含量和SF6純度,。
另一方面,,迄今為止,在日本,,在測(cè)量時(shí)將其釋放到大氣中,,或者在不釋放的情況下以高成本進(jìn)行收集和分解是很普遍的。通過(guò)使用MBW973-SF6,,可以將測(cè)得的SF6氣體按原樣返回原始設(shè)備,,而不會(huì)釋放到大氣中,并將大氣排放降低到零,。
高精度測(cè)量
迄今為止,,由于容易獲得,因此一直使用電容類型。另一方面,,MBW973-SF6使用高精度鏡面法進(jìn)行露點(diǎn)和純度測(cè)量,并可以以高響應(yīng)速度執(zhí)行±0.5°C和0.5%的高精度測(cè)量,,并且隨時(shí)間的推移幾乎沒有劣化,。是。通過(guò)使用該設(shè)備,,可以大大減少操作員的工作時(shí)間,,并且可以輕松地執(zhí)行可靠的測(cè)量。
SO 2測(cè)量選項(xiàng)
SF6氣體與水反應(yīng)以純化HF氣體和SO 2氣體,。MBW973-SF6 能夠測(cè)量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2,。該傳感器使用電化學(xué)電池,并且可以以滿量程的±2%的精度進(jìn)行測(cè)量,。