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TK-100露點儀在半導體芯片生產車間的運用
閱讀：469 發(fā)布時間：2024-7-25TK-100露點儀在半導體芯片生產車間的運用
露點儀在半導體芯片的生產工藝中起重要監(jiān)測作用。半導體芯片的生產是在
凈化間內進行的,。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度（RH）這一項,，一年內控制點的范圍從35%到65%,，精度2%（70℃以下）濕度超標會影響產品質量及生產計劃的完成,。
在半導體芯片生產區(qū)，濕度不穩(wěn)定,，會出現很多問題,。最典型的問題是烘干期延長，整個處理過程變得難以控制,。當相對濕度高于35%時,，元件易被腐蝕。此外,，將顯影液噴在芯片表面時,，顯影液迅速揮發(fā)，使芯片表面溫度下降,，致使水汽凝結在芯片表面,。凝結水不但會影響顯影特性，還會吸收到半導體內,，這將導致膨化及其它質量缺陷,，還必須增加一些不必要的工藝控制。
凈化間常用的除濕方法有兩種,。一種是調節(jié)空氣,，另一種是除濕劑。采用第一種方法時,，將與凈化間氣流接觸的表面的溫度降至氣流露點以下,。除去析出的冷凝水，將除濕后的空氣加熱至規(guī)定溫度后,，重新送回凈化間,。標準冷凍機可保證露點達到+4℃；采用第二種方法時,，氣流通過吸濕劑,，吸濕劑直接吸收氣流中的水分，然后將除濕后的空氣送回凈化間。吸濕劑除濕法可使露點低于-18℃,。
特征
國內開發(fā),、國內制造、國內校準
露點測量范圍-100至+20℃dp
精度±2℃dp
高響應速度
有競爭力的定價體系
交貨快捷
完善的支持體系
可追溯至國家標準
主要用途
手套箱內的露點控制
干燥機露點檢查
熱處理爐內氣氛控制
潔凈室和干燥室的露點管理
氣體純度控制
天然氣水分管理
半導體制造設備
有機EL制造
高品質國產露點儀
過去 40 年來,，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設備（主要是露點計）,。電容式（阻抗式）露點儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產品，用于測量露點或水分含量,。
TK-100在線露點儀是TK-100變送器,、監(jiān)視器和傳感器電纜的集合，因此您可以輕松開始測量露點,。
實現易于安裝的價格范圍
通過在日本進行制造,、生產線和校準等所有工序，我們極其重視質量,，并追求以易于在各種客戶現場情況下實施的價格范圍提供產品,。
同時，我們建立了交貨時間短的運輸系統(tǒng),。