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TK-100露點儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)車間的運(yùn)用

露點儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測作用,。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在

凈化間內(nèi)進(jìn)行的,。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度（RH）這一項，一年內(nèi)控制點的范圍從35%到65%,，精度2%（70℃以下）濕度超標(biāo)會影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計劃的完成,。

        在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū)，濕度不穩(wěn)定,，會出現(xiàn)很多問題,。最典型的問題是烘干期延長，整個處理過程變得難以控制,。當(dāng)相對濕度高于35%時,，元件易被腐蝕。此外,，將顯影液噴在芯片表面時,，顯影液迅速揮發(fā)，使芯片表面溫度下降,，致使水汽凝結(jié)在芯片表面,。凝結(jié)水不但會影響顯影特性，還會吸收到半導(dǎo)體內(nèi),，這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷,，還必須增加一些不必要的工藝控制。

        凈化間常用的除濕方法有兩種,。一種是調(diào)節(jié)空氣,，另一種是除濕劑。采用第一種方法時,，將與凈化間氣流接觸的表面的溫度降至氣流露點以下,。除去析出的冷凝水，將除濕后的空氣加熱至規(guī)定溫度后,，重新送回凈化間,。標(biāo)準(zhǔn)冷凍機(jī)可保證露點達(dá)到+4℃；采用第二種方法時，氣流通過吸濕劑,，吸濕劑直接吸收氣流中的水分,，然后將除濕后的空氣送回凈化間。吸濕劑除濕法可使露點低于-18℃,。

特征

• 國內(nèi)開發(fā),、國內(nèi)制造、國內(nèi)校準(zhǔn)

• 露點測量范圍-100至+20℃dp

• 精度±2℃dp

• 高響應(yīng)速度

• 有競爭力的定價體系

• 交貨快捷

• 完善的支持體系

• 可追溯至國家標(biāo)準(zhǔn)

主要用途

• 手套箱內(nèi)的露點控制

• 干燥機(jī)露點檢查

• 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

• 潔凈室和干燥室的露點管理

• 氣體純度控制

• 天然氣水分管理

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備

• 有機(jī)EL制造

高品質(zhì)國產(chǎn)露點儀

實現(xiàn)易于安裝的價格范圍