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三維磁場探針臺
產(chǎn)品概述:
公司提供的一維 ,、二維 ,、三維探針臺,采用無磁材料制成,,一維 ,、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置,,產(chǎn)生空間一維 ,、二維 、三維磁場,。線圈可采用風(fēng)冷(磁場較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)(磁場較大),并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置,。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作,。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流,,可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺,,可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動,,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,,同時配有高精度電子顯微鏡,,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,,用來測試芯片,、晶圓片、封裝器件等,。
應(yīng)用范圍:
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè),、MEMS 、超導(dǎo),、電子學(xué),、鐵電子學(xué)、物理學(xué),、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,。自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配,通過真正的雙極性電源輸出,,實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成,。
可選附件:
t 各類DC探針、高頻探針,、主動式探針,、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
技術(shù)指標(biāo):
三維磁場探針臺 | |||
型號 | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
材質(zhì) | 所選材料均為優(yōu)質(zhì)無磁材質(zhì) | ||
磁場范圍 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
線圈材質(zhì) | 優(yōu)質(zhì)耐高溫漆包線 | ||
磁場均勻性 | 中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1% | ||
電源穩(wěn)定性 | 三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm | ||
磁場分辨率 | 0.05 mT | ||
角度分辨率 | 0.02° | ||
樣品固定方式 | 吸盤或者壓片 | ||
樣品臺直徑 | 50mm可定制 | ||
顯微鏡 | X、Y平面2*2inch,,精度1μm,,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光 | ||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | ||
探針臂數(shù)量 | 2,、4可選 | ||
探針臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更換 | ||
探針臂移動精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | ||
探針長度 | 38mm | ||
探針直徑 | 0.51mm | ||
針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm | ||
探針材料 | 鎢/鈹銅/GGB | ||
漏電精度 | 100fA | ||
顯微鏡 | X,、Y平面2*2inch,精度1μm,,Z軸行程≥50.8mm,,可選加載激光 |
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