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高低溫真空探針臺
可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場,，低溫防輻射屏設計,，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好,，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置,，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡,，可微調移動,，器件的高頻特性(支持高67GHz頻率)，探針熱沉設計,，LD/LED/PD的光強/波長測試,，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等,。
高低溫真空探針臺
高低溫真空環(huán)境下的芯片測試,，材料測試,，霍爾測試,，電磁輸運特性等。
t 防震桌
t 多級壓縮制冷機
t 機械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針,、高頻探針,、主動式探針,、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
技術指標：
型號 | T81-50探針臺 | T80-50探針臺 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 閉循環(huán)制冷機 |
腔體材質 | 無磁不銹鋼或者鋁合金 | |
真空度 | 高真空10-8Pa | |
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch（可選） | |
控溫范圍 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關 | |
溫度穩(wěn)定性 | 0.1K控溫儀相關 | |
降溫時間 | 40min | 150min內，視制冷機功率定 |
溫度傳感器 | 硅二極管,、PT100（3個,，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個） | |
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |
樣品臺材質 | 鍍金無氧銅 | |
樣品臺尺寸 | 直徑20-50mm，可選100mm | |
樣品臺平整度 | ≤7μm | |
樣品臺固定方式 | 固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動） | |
樣品臺振動級別 | ≤50納米 | ≤1μm（三級減震） |
探針臂數(shù)量 | 2個,、4個,、6個、8個可選 | |
探針臂機械精度 |
| |
探針種類 | 鎢,、鈹銅,、微波探針（可選高達67GHz的GSG探針） | |
探針調節(jié) | 真空波紋管外部調節(jié)，手動控制 | |
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |
顯微鏡行程 | X,、Y平面2*2inch,，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm | |
電力需求 | 220V 50-60Hz | |
應用范圍：
磁特性測試,、微波特性測試,、直流、RF特性測試,，微電子機械系統(tǒng),，超導電性測試，納米電路的光電屬性,，量子點和線,，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試,，霍爾測試,，電磁輸運特性等
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針,、主動式探針,、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
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±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選）