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晶圓薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

主要特點(diǎn)：

l  快速,、非接觸式測(cè)量,；

l  樣品臺(tái)可通用于3至8寸晶圓,，128L型號(hào)適用于12寸晶圓，128G 型號(hào)適用于470 X 370mm樣品,，另可按要求訂做,；

l  利雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù)：如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄,，滿足不同材料的應(yīng)用,；

l  全自動(dòng)平臺(tái)，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄（可選),；

l  可加入更多功能滿足研發(fā)的需求：電介質(zhì)厚度測(cè)量,，光致發(fā)光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）；

l  500 及 900°C高溫型號(hào)可選；

l  樣品上有圖案亦適用,；

l   薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa,。

晶圓薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學(xué)試驗(yàn)機(jī)儀器為主,，同時(shí)銷售各種,、中低端分析儀器。現(xiàn)有員工60多人,，公司成功開(kāi)發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗(yàn)軟件,，并采用全數(shù)字化，操作簡(jiǎn)捷,，*符合GB,、ISO、JIS,、ASTM,、DIN等標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求,，公司亦通過(guò)了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證和國(guó)家計(jì)量體系認(rèn)證，榮獲了“武漢市第九界消費(fèi)者滿意單位"的稱號(hào),。