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半導(dǎo)體測試儀器解決方案: 材料分析儀器半導(dǎo)體前道儀器設(shè)備半導(dǎo)體后道儀器設(shè)備半導(dǎo)體檢測儀器設(shè)備

所有恒溫器出廠時,，均帶有兩個接頭,，一個為溫度傳感器和加熱器安裝使用，另一個是為進(jìn)行其他性能測量時準(zhǔn)備的接頭,，當(dāng)需要更多的測試線時,，就需要增加安裝孔,，或者是加裝一個或者幾個Breakout Box。

常用10K制冷機(jī)規(guī)格和參數(shù)

常用10K制冷機(jī)冷頭和壓縮機(jī)技術(shù)規(guī)格和參數(shù)
冷頭型號	CH-202	CH-204	CH-204N（選配）	KDE210SA
溫度	10K	10K	6.5K	10K
冷卻時間	90min to 20K	40min to 20K	60min to 10K	60min to 10K
制冷量	1.8W@20K&7.3K@77K	6.7W@20K&13.5W@80K	2.5W@20K&	2.5W@20K&40W@45K
冷頭重量	6.8Kg	7.8Kg	7.8Kg	17.8Kg
壓縮機(jī)	HC-4E（水冷）			KDC6000V（水冷）
耗電量	2.6KW at 50Hz/1Phase			7.2KW at 50Hz/3Phase
冷卻水進(jìn)口流量及溫度	2.7L/min@4-27℃			7-10L/min@（28℃）
尺寸	504430485mm			613442600
壓縮機(jī)重量	75Kg			118Kg
維護(hù)周期	30 000h			36個月

集成規(guī)格與參數(shù)

型號項(xiàng)目	CH-202		CH-204	CH-204N（選配）	KDE210SA
溫度范圍	10K-325K
所需真空度	≤1Pa
實(shí)驗(yàn)類型	電學(xué)	光學(xué)	電學(xué)	光學(xué)	電學(xué)	光學(xué)
樣品座尺寸	15*25mm	15*25mm中心開Φ10mm通光孔	20*30mm	20*30mm中心開Φ10mm通光孔	15*25mm	15*25mm中心開Φ10mm通光孔
真空罩尺寸	Φ31.8mm	40*40mm	Φ41.8mm	50*50mm	Φ31.8mm	40*40mm
樣品座接線柱	8個	無	8個	無	8個	無
溫度傳感器/加熱器	溫度傳感器標(biāo)準(zhǔn)配置為硅二極管,加熱器標(biāo)準(zhǔn)配置為50W
光學(xué)窗口	無	1-5個	無	1-5個	無	1-5個

注：光學(xué)樣品座中間均可開通光孔,，尺寸用戶可以,。

常用10K制冷機(jī)樣品座選件

型號	規(guī)格與參數(shù)	說明	備注
T8015	15*25mm	額外的電學(xué)樣品座，上下有8根接線柱	所有標(biāo)配的10K恒溫器默認(rèn)配置一個樣品座,，尺寸大小可以按照標(biāo)準(zhǔn)的做,，也可以按照用戶具體要求設(shè)計(jì)，若設(shè)計(jì)比較復(fù)雜,，可酌情收費(fèi),；標(biāo)配光學(xué)樣品座，自帶一個樣品壓片,，壓片上有孔,，直徑大小與通光孔大小一致； 10K制冷機(jī)的制冷功率略有不同,，可根據(jù)具體功率,，一定范圍內(nèi)調(diào)整樣品座尺寸；
T8020	20*30mm	額外的電學(xué)樣品座,，上下有8根接線柱
T8030	30*35mm	額外的電學(xué)樣品座,，左右有8根接線柱
T8040	40*45mm	額外的電學(xué)樣品座，左右有8根接線柱
T8115	15*25mm	額外的光學(xué)樣品座,，中間有Φ8的通孔
T8120	20*30mm	額外的光學(xué)樣品座,，中間有Φ10的通孔
T8130	30*35mm	額外的光學(xué)樣品座，中間有Φ15的通孔
T8140	40*45mm	額外的光學(xué)樣品座,，中間有Φ20的通孔
T8205	Φ5mm	粉末狀樣品容器,，容器一側(cè)有5mm窗口
T8210	Φ10mm	粉末狀樣品容器，容器一側(cè)有5mm窗口

常用10K制冷機(jī)光學(xué)窗口選件

窗片型號	窗片規(guī)格	說明	備注
W-20	Φ20*1.5mm	額外的石英窗口	窗口的規(guī)格均為可視面積,，實(shí)際尺寸比可視面積大,；窗口的安裝可以選擇O圈壓緊或者是低溫環(huán)氧樹脂粘接，若真空罩尺寸小,，盡量選用膠粘
W-40	Φ40*2mm	額外的石英窗口
K9-W20	Φ20*1.5mm	額外的K9窗口
K9-W20	Φ40*2mm	額外的K9窗口
F-W20	Φ20*1.5mm	額外的氟化鈣窗口
F-W40	Φ40*2mm	額外的氟化鈣窗口

常用10K制冷機(jī)電纜選件

名稱	說明	備注
四氟線	普通導(dǎo)線,，漏熱較大，直徑0.1-0.3之間	線纜沒有要求單獨(dú)使用一種普通四氟線,，有要求按照要求制作，導(dǎo)線要和相應(yīng)的接頭配合使用
低溫同軸線	信號干擾小,，測量準(zhǔn)確
磷青銅雙絞線	導(dǎo)熱差,，漏熱小，直徑0.2mm（4根）
微波半剛線纜	高頻線纜,，高頻信號使用

接頭選件

常用10K制冷機(jī)備注：

1：所有恒溫器出廠時,，均帶有兩個接頭，一個為溫度傳感器和加熱器安裝使用,，另一個是為進(jìn)行其他性能測量時準(zhǔn)備的接頭,，當(dāng)需要更多的測試線時，就需要增加安裝孔,，或者是加裝一個或者幾個Breakout Box,。

2：上表中有T91-S選件，此選件接線板和外殼整體構(gòu)成接地,，另一種是T91-PTEF選件,，該選件是外殼和安裝的接頭中采用四氟板絕緣連接，外殼和接頭的電學(xué)性能是相互獨(dú)立的,。選型時應(yīng)注意此問題,。

水冷機(jī)選型

有分體和一體的選擇，具體參考水冷機(jī)彩頁

機(jī)械泵和分子泵選型

標(biāo)準(zhǔn)配置為一個機(jī)械泵,，如需更高真空,，可以選擇國內(nèi)和國外的分子泵，選型參照真空泵選型表,。

常用10K制冷機(jī)

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