廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS ,、超導(dǎo),、電子學(xué)、鐵電子學(xué),、物理學(xué),、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配,,通過真正的雙極性電源輸出,,實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。
三維磁場(chǎng)探針臺(tái)產(chǎn)品概述:
公司提供的一維 ,、二維 ,、三維磁場(chǎng)探針臺(tái),,采用無磁材料制成,一維 ,、二維 ,、三維三對(duì)亥姆霍茲線圈正交放置,產(chǎn)生空間一維 ,、二維 ,、三維磁場(chǎng)。線圈可采用風(fēng)冷(磁場(chǎng)較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)(磁場(chǎng)較大),,并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時(shí)間穩(wěn)定工作,。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流,,可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái),,可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng),,便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂,,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號(hào),,用來測(cè)試芯片,、晶圓片、封裝器件等,。
三維磁場(chǎng)探針臺(tái)應(yīng)用范圍:
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè),、MEMS 、超導(dǎo),、電子學(xué),、鐵電子學(xué)、物理學(xué),、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,。三維探針臺(tái)自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配,通過真正的雙極性電源輸出,,實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成,。
三維磁場(chǎng)探針臺(tái)可選附件:
þ 各類DC探針、高頻探針,、主動(dòng)式探針,、電纜線
þ CCD或C-MOS視頻成像裝置
þ Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
þ 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
þ 超高溫升級(jí)選件
þ 超高真空升級(jí)選件
þ 各類探針夾具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 轉(zhuǎn)接頭
þ 靜音真空泵
三維磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo):
三維磁場(chǎng)探針臺(tái) |
型號(hào) | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
材質(zhì) | 所選材料均為優(yōu)質(zhì)無磁材質(zhì) |
磁場(chǎng)范圍 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
線圈材質(zhì) | 優(yōu)質(zhì)耐高溫漆包線 |
磁場(chǎng)均勻性 | 中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1% |
電源穩(wěn)定性 | 三臺(tái)高精度直流電源 50ppm可選10ppm |
磁場(chǎng)分辨率 | 0.05 mT |
角度分辨率 | 0.02° |
樣品固定方式 | 吸盤或者壓片 |
樣品臺(tái)直徑 | 50mm可定制 |
顯微鏡 | X、Y平面2*2inch,,精度1μm,,Z軸行程≥50.8mm,,可選加載激光 |
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X |
探針臂數(shù)量 | 2、4可選 |
探針臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更換 |
探針臂移動(dòng)精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 |
探針長度 | 38mm |
探針直徑 | 0.51mm |
針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm |
探針材料 | 鎢/鈹銅/GGB |
漏電精度 | 100fA |
顯微鏡 | X,、Y平面2*2inch,,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,,可選加載激光 |