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分析儀器: 固定源現(xiàn)場采樣與分析真空爐試驗(yàn)機(jī)系列調(diào)節(jié)閥系統(tǒng) 實(shí)驗(yàn)試驗(yàn)臺顯微鏡自動控制試驗(yàn)臺試驗(yàn)監(jiān)控系統(tǒng) 動作測試儀熱流傳感器校準(zhǔn)儀膨脹試驗(yàn)臺疲勞試驗(yàn)機(jī)臺高低溫試驗(yàn)機(jī) 密封性試驗(yàn)臺循環(huán)試驗(yàn)臺脈沖綜合試驗(yàn)機(jī) 爆破試驗(yàn)臺阻力試驗(yàn)臺電化學(xué)儀器全套

電力測試儀器全套解決方案: 互感器特性測試儀器類高壓開關(guān)測試儀器類電量記錄分析儀器類高壓試驗(yàn)設(shè)備類絕緣油測試儀器類其他新品儀器類

半導(dǎo)體測試儀器解決方案: 材料分析儀器半導(dǎo)體前道儀器設(shè)備半導(dǎo)體后道儀器設(shè)備半導(dǎo)體檢測儀器設(shè)備

等離子體表面處理系統(tǒng): 等離子清洗機(jī)/去膠機(jī) 等離子清洗機(jī)定制等離子清洗機(jī)配件

芯片測試儀器

靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)

試驗(yàn)箱系列: 試驗(yàn)箱

Hyrel 3D打印機(jī)

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

PLUTO-M等離子清洗機(jī)（小型）武漢*廠家是針對于高校,，科學(xué)研究所和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,，或者小批量生產(chǎn)的創(chuàng)新性企業(yè)而研發(fā)的創(chuàng)新型實(shí)驗(yàn)平臺。我們收集了大量客戶使用信息,，分析應(yīng)用需求,，將多年設(shè)計和制造經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用于小型化，多功能的等離子體表面處理設(shè)備,。

PLUTO-M等離子清洗機(jī)（小型）武漢廠家

Pluto-M等離子表面處理系統(tǒng)

經(jīng)過多年技術(shù)創(chuàng)新和積累,，PLUTO-M創(chuàng)新性將真空式等離子體技術(shù)應(yīng)用于各種不同領(lǐng)域的研究型操作平臺，除了實(shí)現(xiàn)常規(guī)清潔樣品和表面改性的功能外,，通過添加不同的功能模塊，可以實(shí)現(xiàn)等離子體鍍膜,，等離子體合成反應(yīng),，等離子體純化等功能，很好的拓展該設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域,。

PLUTO-M參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置)
真空腔尺寸	不銹鋼腔體,，φ210mm*230mm
電極尺寸	多控自適應(yīng)平板電極,，125*125mm
等離子體發(fā)生器	RF射頻發(fā)生器，頻率：13.56MHz,；自適應(yīng)阻抗匹配電源
功率	0-200W連續(xù)可調(diào),，精度1W
真空計	熱電偶真空計 0-1000mT
供氣	1路氣體，6mm國標(biāo)連接件（軟管）
控制方式	4.3寸觸摸屏,，多級應(yīng)用菜單,，操控簡易快捷
抽氣裝置	飛躍 VRD-8，二級油泵8m³/h
外部尺寸	404640615mm

可選配置
純鋁腔體	間距可調(diào)電極
等離子體發(fā)生器	RF 13.56MHz 300W/500W,自動阻抗匹配電源
氣體收集裝置	用于收集等離子體化學(xué)反應(yīng)后的氣體
小型氧氣發(fā)生器	用于制備氧氣,，可取代氧氣罐
氣體混合裝置	可根據(jù)客戶要求進(jìn)行混氣設(shè)計
加熱電極模塊	電極可以加熱,，室溫-200℃可調(diào)
光譜儀模塊	可增加光譜儀的接口，檢測等離子體光譜變化
電極轉(zhuǎn)換模塊	可自由變換電極設(shè)計,，樣品可放在射頻電極上,，也可以放在地電極上，從而實(shí)現(xiàn)不同的處理效果

PLUTO-M等離子清洗機(jī)（小型）武漢廠家

PLUTO-M 典型應(yīng) 用

污染物清洗

清洗玻璃,、金屬,、陶瓷、塑料等材料表面的有機(jī)物及其他污染物

表面活化

利用等離子體轟擊樣品表面,，改變樣品表面張力和活性

鍍膜

采用等離子斷鍵功能的裝置,，將鍍膜材料以納米級厚度均勻覆蓋樣品表面

等離子體刻蝕

對半導(dǎo)體材料、集成電路板,、PCB板,、塑料制品等材料進(jìn)行刻蝕

等離子體反應(yīng)

特別的工藝手段和裝置，可以實(shí)現(xiàn)等離子體與樣品的化學(xué)反應(yīng),，并得到相應(yīng)物質(zhì)

粉體處理

粉體裝置,，可實(shí)現(xiàn)納米級顆粒的等離子體均勻處理，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)性能

PLUTO-M等離子清洗機(jī)（小型）

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