晶圓分選機

可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量晶片厚度,、表面粗糙度、微納三維形貌,。使用白光光譜共焦多傳感器技術(shù)測量晶圓厚度、翹曲度,、平面度,、線粗糙度、總體厚度變化(TTV),；

一,、 產(chǎn)品簡介

可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量晶片厚度、表面粗糙度,、微納三維形貌,。使用白光光譜共焦多傳感器技術(shù)測量晶圓厚度、翹曲度,、平面度,、線粗糙度、總體厚度變化(TTV),；采用白光干涉顯微測量技術(shù)對晶圓表面進行非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像,，分析反映表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，可顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,。該測量系統(tǒng)可以測量不同尺寸300mm(12")至直徑 50mm(2")的晶圓,，其晶片厚度測量范圍為10um至 2mm，可以測量裸晶圓和安裝在鋸框上的晶片

可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工、顯示面板,、MEMS器件等超精密加工行業(yè),。可測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準。

一,、 產(chǎn)品優(yōu)勢

1,、 非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

◆集成厚度,、翹曲度測量模組和三維顯微測量模組,，使用一臺機器便可完成厚度、翹曲度,、三維維納形貌的測量,。

2、 高精度厚度測量技術(shù)

◆采用白光光譜共焦的雙傳感器對射測量,，非接觸,，高精度；晶圓有翹曲時,， 仍可以穩(wěn)定測量,。

◆帶多點傳感器孔和靜電放電涂層的鋼制真空吸盤， 晶圓規(guī)格最大可支持至 12寸,。

◆采用點地圖技術(shù),，可編程多點自動測量。

3,、 高精度三維形貌測量技術(shù)

◆采用光學白光干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,，Z向分辨力最高可到0.1nm；

◆特隔振設計極大降低地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，獲得高的測量重復性,。

◆機器視覺技術(shù)檢測圖像Mark點，虛擬夾具擺正樣品,，可對多點形貌進行自動化連續(xù)測量,。

4、 大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺

◆ 大行程龍門結(jié)構(gòu)（400x400 x75mm）,，最大移動速度500mm/s,。

◆ 高精度花崗巖基座和橫梁，整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,、可靠,。

◆ 關鍵運動機構(gòu)采用高精度直線導軌導引、AC伺服直驅(qū)電機驅(qū)動,，搭配分辨率0.1μm的光柵系

統(tǒng),，保證設備的高精度、高效率,。

5,、 操作簡單、輕松無憂

◆集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前準備工作,。

◆雙重防撞設計,，避免誤操作導致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

◆電動物鏡切換讓觀察變得快速和簡單,。

三 測量軟件

測量功能

1. 厚度測量模塊：厚度,、TTV(總體厚度變化)、翹曲度,、平面度,、線粗糙度,、線幾何結(jié)構(gòu)等,；微納形貌測量模塊：粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、面積、體積等,。

2. 線幾何結(jié)構(gòu)分析： 點,、線,、圓（圓心坐標、半徑,、直徑）,、圓弧、中心,、角度,、距、線寬,、孔位,、孔徑、孔數(shù),、孔到孔的距離,、孔到邊的距離、弧線中心到孔的距離,、弧線中心到邊的距離,、弧線高點到弧線高點的距離、交叉點到交叉點的距離等,。

3．提供調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平,、鏡像等功能,；糾正包括空間濾波、修描,、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形,、標準濾波,、過濾頻譜等功能,；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4．提供幾何輪廓分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。幾何輪廓分析包括臺階高、距離,、角度、曲率等特征測量和直線度,、圓度形位公差評定等,；粗糙度分析包括國際標準ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度,、ISO12781平整度等全參數(shù),；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等,；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等,。

記錄管理功能

1. 將所有測量記錄進行集中式管理。

2. CNC測量支持掃碼槍輸入,。

3. 按工件型號,、工件名稱、檢測日期,、工件識別碼等進行查詢,。

數(shù)據(jù)輸出功能

1. 可輸出Excel、Word,、 TXT 報表和 AutoCAD 文件。

2. 支持實時輸出至 excel 模版,，可定制模版,。

3. 輸出SPC分析報告，可輸出統(tǒng)計值（如CA,、PPK,、CPK、PP等）及控制圖（如均值與極差圖,、均值與標準差圖,、中位數(shù)與極差圖、單值與移動極差圖）,。

4. 支持Q-DAS傳輸,，支持定制遠程數(shù)據(jù)對接。

晶圓分選機