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更新時(shí)間：2023-01-19 14:46:14瀏覽次數(shù)：181次

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半導(dǎo)體測(cè)試儀器解決方案: 材料分析儀器半導(dǎo)體前道儀器設(shè)備半導(dǎo)體后道儀器設(shè)備半導(dǎo)體檢測(cè)儀器設(shè)備

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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工

SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后,，將分成兩束激光（線偏振光）,；

詳情介紹

SJ6000激光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),，是迄今認(rèn)的高精度,、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。 SJ6000 激光干涉儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，其壽命可達(dá) 50000 小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)最高 4m/s 的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文,、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

SJ6000 激光干涉儀具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大,、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在 SJ6000 激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀

(1) 從 SJ6000 激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后,，將分成兩束激光（線偏振光）,； (2) 兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡 A 和角錐反射鏡 B 反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加,，由于兩束激光頻率相同,、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件,； (3) 角錐反射鏡 B 每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離,，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng),。

2.1.2 線性測(cè)量配置及使用方法

線性測(cè)量（線性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱）配置主要由 SJ6000 主機(jī),、EC20 環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組,、SJ6000 靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,，可滿足 0~80m 范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中,，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量,、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。