鐳射定位激光開封系統(tǒng)

是實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合英國(guó)GMATG公司推出的激光開封系統(tǒng),，針對(duì)半導(dǎo)體失效分析實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用場(chǎng)景設(shè)計(jì),，根據(jù)不同材料對(duì)激光吸收特性的不同,，選擇性刻蝕。采用定制的激光器,、控制器,，可適用高達(dá)99%的封裝材料，光斑質(zhì)量好,，壽命長(zhǎng),，保證最佳匹配無損晶圓及線材的激光開封。開封參數(shù)可精確控制,，確保線材無損,、開封的后IC可以保留焊盤，將芯片及壓焊打線的情況清晰展現(xiàn),。同時(shí)取代機(jī)械開封,、化學(xué)開封、傳統(tǒng)制模,、機(jī)械切割研磨等z制樣工藝,，大大降低開封成本，節(jié)省開封時(shí)間,，提高開封良率,。

激光開封系統(tǒng)主要構(gòu)成：激光器、光路系統(tǒng),、工作臺(tái),、控制系統(tǒng)、定位系統(tǒng),、抽塵系統(tǒng),、CCD視覺系統(tǒng)、風(fēng)冷和水冷系統(tǒng)等,。采用自研發(fā)的控制軟件,、直接導(dǎo)入CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行激光刻蝕，操作簡(jiǎn)單,。設(shè)備集數(shù)控技術(shù),、激光技術(shù)、軟件技術(shù)等光機(jī)電高技術(shù)于一體,，具有高靈活性,、高精度,、高速度等*制樣技術(shù)的特征。適用于各種塑料封裝形式的IC開封,，LED透明硅膠和環(huán)氧樹脂,，為各種類型的半導(dǎo)體失效分析應(yīng)用（如半導(dǎo)體器件開蓋和剖面）提供清晰，精確的測(cè)試樣品.

化學(xué)開封 VS 金鑒激光系統(tǒng)開封：

傳統(tǒng)的化學(xué)開封前期準(zhǔn)備工具繁瑣,、耗時(shí)不省心,，大多開封化學(xué)試劑具有毒性、腐蝕性和揮發(fā)性,，會(huì)刺激呼吸道,，長(zhǎng)期接觸容易誘發(fā)呼吸道疾病和皮炎，如果沾染皮膚會(huì)造成燒傷,嚴(yán)重者內(nèi)臟器官受到傷害甚至休克,，也有可能會(huì)影響到生育,。

由于化學(xué)開封對(duì)人體危害較大，對(duì)于現(xiàn)代的很多員工來說,，考慮到自身健康,，不愿從事化學(xué)開放的工作，而激光開封安全無毒,，環(huán)境友好,，采用激光開封利于增加團(tuán)隊(duì)的穩(wěn)定性。而激光開封相比化學(xué)開封可以做到更加精密,，線寬更窄,，線間距更小，操作簡(jiǎn)便,，隨時(shí)都可以導(dǎo)入圖形或直接繪制圖形加工,，不受限制，特別適合于實(shí)驗(yàn)室階段,。從穩(wěn)定性,、良品率、耗材,、環(huán)保,、綜合成本等多種因素考慮，激光開封的優(yōu)勢(shì)也更加明顯,。為此,，鐳射定位激光開封系統(tǒng)，幫助客戶解決塑封器件開封的煩惱,。 

功能介紹：

1.自開發(fā)的軟件，鐳射定位系統(tǒng),，微米級(jí)精準(zhǔn)逐層開封,！

（1）鐳射定位系統(tǒng)，精準(zhǔn)定位開封位置。

（2）可精確控制每一層激光掃描能量,，每層移除厚度可控制在10~100 μm,，精準(zhǔn)定位開封區(qū)域，暴露引線框架,，邦定線,，基板，甚至直接無損開封至芯片的晶圓層,。

（3）顯著節(jié)省后續(xù)工藝時(shí)間,。

（4）電腦控制開封形狀、位置,、大小,、時(shí)間等，操作便利,。

2. 配備風(fēng)冷和水冷降溫系統(tǒng),，功率可調(diào)，大程度上減少激光對(duì)金屬材料的熱影響

（1）可開封高達(dá)99%的封裝材料,，環(huán)氧樹脂,，硅膠等。

（2）可適合各種硅膠,、塑料封裝形式的IC開封,，包括DIP、SOP,、PDIP,，PLCC，PQFP,，SOIC,，BGA以及COB去黑膠等。

（3）適用多芯片,、多細(xì)線材塑封器件樣開封,！

傳統(tǒng)化學(xué)開封方式對(duì)多芯片樣品束手無策，原因在于長(zhǎng)時(shí)間的化學(xué)開封溶解膠體的同時(shí),，也會(huì)溶解芯片固晶層和焊線金屬,，降低焊點(diǎn)結(jié)合力，導(dǎo)致在超聲波清洗后,，焊線斷裂,，芯片脫離，失去樣品原始原貌,，無法分析,。

同樣道理,，對(duì)于細(xì)線塑封器件，化學(xué)開封極易損傷焊線金屬,，而傳統(tǒng)的激光開封由于熱影響,，較細(xì)的焊線很容易受到熱損傷，在超聲波清洗之后,，發(fā)生焊線斷裂的現(xiàn)象,。

（4）銅線產(chǎn)品的有效解決方案。由于銅線低廉的價(jià)格及性能方面的優(yōu)勢(shì),，如今內(nèi)引線為銅材質(zhì)的塑封器件已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,，而銅卻容易與酸發(fā)生反應(yīng)而被腐蝕，傳統(tǒng)的酸開封已經(jīng)沒有辦法完成銅制成器件的開封,，良率一般低于30%,，激光開封機(jī)給分析產(chǎn)業(yè)帶來了新的技術(shù)。 

（5）其大功率模式可清潔封裝材料中的大顆粒填充料

3. CCD視覺系統(tǒng)

（1）可視化觀察樣品,，實(shí)時(shí)追蹤,、顯示加工過程。

（2）數(shù)字化變焦設(shè)計(jì),，精確定位至單根鍵合線或單個(gè)鍵合點(diǎn)缺陷,，精確定位剖面位置。

（3）通過視覺CCD控制系統(tǒng),，針對(duì)超微小尺寸,，可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位，框選,，分離,，隔帶掃描，全/部分開封暴露邦定線,，美清除線下樹脂殘留,。