晶圓薄膜應力測試儀

主要特點：

l  快速,、非接觸式測量；

l  樣品臺可通用于3至8寸晶圓,，128L型號適用于12寸晶圓,，128G 型號適用于470 X 370mm樣品,，另可按要求訂做；

l  利雙激光自動轉換技術：如某一波長激光在樣本反射度不足,，系統(tǒng)會自動使用另一波長激光進行掃瞄,，滿足不同材料的應用；

l  全自動平臺,，可以進行2D及3D掃瞄（可選),；

l  可加入更多功能滿足研發(fā)的需求：電介質厚度測量，光致發(fā)光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）,；

l  500 及 900°C高溫型號可選,； 

l  樣品上有圖案亦適用；

l   薄膜應力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa,。

晶圓薄膜應力測試儀

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā),，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種,、中低端分析儀器?，F有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件,，并采用全數字化,，操作簡捷，*符合GB,、ISO,、JIS、ASTM,、DIN等標準,、國家標準、行業(yè)標準的要求,，公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證,，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。