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顯微紅外熱點定位測試系統(tǒng)優(yōu)點:
1,、高靈敏度的鎖相熱成像缺陷定位
2,、配合電測,,XRAY等對樣品作無損分析
3、選配不同鏡頭,,可分析封裝芯片及裸芯片
4,、對短路及漏電流等分析效果佳
5、0.03℃溫度分辨率,,20um定位分辨率,,可探測uW級功耗
6、其他功能如真實溫度測量,,熱的動態(tài)分析,,熱阻計算
7、相對于其他缺陷查找設備(EMMI,THERMAL,OBIRCH),,價格可承受
與國外同類設備相比,,顯微紅外熱點定位測試系統(tǒng)優(yōu)點顯著:
半導體器件作為現(xiàn)代科技社會的一大進步,卻因為各種原因停滯不前,,其中半導體器件故障問題一直是行業(yè)內的熱點問題,,多種多樣的環(huán)境因素,五花八門的故障形式,,使得制造商不知所措,,針對此問題,實驗室聯(lián)合英國GMATG公司推出顯微紅外熱點定位系統(tǒng),,采用法國的ULIS非晶硅紅外探測器,通過算法,、芯片和圖像傳感技術的改進,,打造出高精智能化的測試體系,,專為電子產(chǎn)品FA設計,整合出一套顯微紅外熱點定位測試系統(tǒng),,價格遠低于國外同類產(chǎn)品,,同樣的功能,但卻有更精確的數(shù)據(jù)整理系統(tǒng),、更方便的操作體系,,正呼應了一句名言“好的檢測設備是一線的測試工程師研發(fā)出來的!",。
顯微紅外熱點定位測試系統(tǒng)已演化到第四代:配備20um的微距鏡,,可用于觀察芯片微米級別的紅外熱分布;通過強化系統(tǒng)軟件算法處理,,圖像的分辨率高達5um,,能看清金道與缺陷;熱點鎖定lock in功能,,能夠精準定位芯片微區(qū)缺陷,;系統(tǒng)內置高低溫數(shù)顯精密控溫平臺與循環(huán)水冷裝置校準各部位發(fā)射率,以達到精準測溫度的目的,;具備人工智能觸發(fā)記錄和大數(shù)據(jù)存儲功能,,適合電子行業(yè)相關的來料檢驗、研發(fā)檢測和客訴處理,,以達到企業(yè)節(jié)省20%的研發(fā)和品質支出的目的,。
實驗室聯(lián)合英國GMATG公司設立儀器研發(fā)中心,自主研發(fā)的主要設備有顯微光熱分布系統(tǒng),、顯微紅外定位系統(tǒng)和激光開封系統(tǒng),。產(chǎn)品獲得中科院、暨南大學,、南昌大學,、華南理工大學、華中科技大學,、士蘭明芯,、清華同方、華燦光電,、三安光電,、三安集成、天電光電,、瑞豐光電等高??蒲性核蜕鲜泄镜膹V泛使用,廣受老師和科研人員普遍贊譽。值得信賴,。
紅外顯微鏡系統(tǒng)(Thermal Emission microscopy system),,是半導體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一(EMMI,THERMAL,OBIRCH),是通過接收故障點產(chǎn)生的熱輻射異常來定位故障點(熱點/Hot Spot)位置。
存在缺陷或性能不佳的半導體器件通常會表現(xiàn)出異常的局部功耗分布,,最終會導致局部溫度增高,。顯微熱分布測試系統(tǒng)利用熱點鎖定技術,可準確而高效地確定這些關注區(qū)域的位置,。熱點鎖定是一種動態(tài)紅外熱成像形式,,通過改變電壓提升特征分辨率和靈敏度,軟件數(shù)據(jù)算法改善信噪比,。在IC分析中,, 可用來確定線路短路、 ESD缺陷,、缺陷晶體管和二極管,,以及器件閂鎖。該測試技術是在自然周圍環(huán)境下執(zhí)行的,,無需遮光箱,。
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