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| 供貨周期 | 一個月以上 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
射頻寬波束離子源
RF/F 40 RF/I 40
圖1 射頻寬波束離子源
產(chǎn)品功能
射頻離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使中性原子或分子電離,，并從中引出離子束流的裝置，在高頻電場中,，自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞,，并使之電離,。帶電粒子倍增的結(jié)果，形成無極放電,，產(chǎn)生大量等離子體,，高頻場可若管外螺線管線圈產(chǎn)生，則者稱為電感耦合,。
1. RF40使用簡單,、緊湊的電感功率耦合的無燈絲源，配備特殊電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng),，所有的惰性氣體以及氧氣等活性氣體均可適用于離子源,，柵網(wǎng)系統(tǒng)有多種形狀與材料。
2. RF40安裝在儀器內(nèi)部和外部均可,，使用功能陶瓷,，維護方便快捷，工作壽命長,，射頻電源通過50歐姆電纜提供,，不需要額外的匹配單元。
技術(shù)規(guī)范
圖2 射頻寬波束離子源尺寸布局
參數(shù) | RF/F40 | RF/I40 |
類型 | 外部法蘭安裝射頻激勵離子源 多孔徑提取柵網(wǎng) | 內(nèi)部安裝射頻激勵離子源 多孔徑提取柵網(wǎng) |
源材料 | 放電管：Al2O3 柵網(wǎng)：C或Mo 射頻線圈：鍍銀和水冷銅 永磁體：AlNiCo 外殼：不銹鋼 射頻匹配元件：Cu和Al2O3 | |
柵網(wǎng)類型 | 2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng) 3種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng) | |
型號 | 參見上圖（無中和器） | |
重量 | 約1.8kg | 約1.2kg |
法蘭 | DN 100 CF | 3個DN 40 CF介質(zhì)引線 |
RF電源 | ~75 to 300 W at 13.56 MHz | |
離子電流 | 最大50 mA（取決于柵網(wǎng)類型和運行條件） | |
離子能量 | 50 到 2000 eV | |
加速電壓 | 0 –1000 V | |
過程氣體 | 惰性氣體,，O2,，N2，CXHY（無限制） 含鹵素氣體（減少柵壽命） | |
氣流流量 | 1 -10 sccm 接頭：6 mm Swagelock | 1 -10 sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空） |
冷卻水 | 1.5L/min | 1.5L/min |
電連接 | 射頻：同軸N型 直流：BNC | 射頻：同軸N型（空氣和真空） DC:BNC（空氣側(cè)）,，電源接通 （真空側(cè)）0.5米真空電纜 |
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