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熱燈絲寬波束離子源

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更新時(shí)間:2023-07-11 09:59:56瀏覽次數(shù):1254

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熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發(fā)射原初電子,,發(fā)射出來的原初電子,經(jīng)過鞘層被加速獲得相應(yīng)于等離子體與之間電位差的參數(shù),。

詳細(xì)介紹

熱燈絲寬波束離子源

KF/F 40   KF/I 40

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1 熱燈絲寬波束離子源

產(chǎn)品介紹

熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發(fā)射原初電子,,發(fā)射出來的原初電子,經(jīng)過鞘層被加速獲得相應(yīng)于等離子體與之間電位差的參數(shù),。等離子體的電位略高于陽電位,。這類高速電子與從進(jìn)氣口均勻進(jìn)入放電室的氣體原子相碰撞形成等離子體,形成的離子被離子光學(xué)系統(tǒng)發(fā)出形成離子束,。

1.      KF40使用簡(jiǎn)單,、緊湊的考夫曼離子源,可以方便快速地更換燈絲,,配備特殊電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng),,所有的惰性氣體以及氮?dú)饩蛇m用于離子源,柵網(wǎng)系統(tǒng)有多種形狀與材料,。

2.      KF40安裝在儀器內(nèi)部和外部均可,,使用功能陶瓷,維護(hù)方便快捷,,工作壽命長(zhǎng),。

技術(shù)規(guī)范

gaitubao_網(wǎng)頁版rf40 2_jpg.jpg

2 熱燈絲寬波束離子源尺寸布局

參數(shù)

KF/F40

KF/I40

類型

法蘭安裝考夫曼子源

多孔徑提取柵網(wǎng)

內(nèi)部安裝射考夫曼源

多孔徑提取柵網(wǎng)

源材料

放電管:Al2O3

柵網(wǎng):CMo

燈絲固定器:Mo

永磁體:AlNiCo

外殼:不銹鋼

燈絲:鎢

柵網(wǎng)類型

2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng)

3種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)

型號(hào)

參見上圖(無中和器)

重量

4.5kg

2.5kg

法蘭

DN 100 CF

3個(gè)DN 40 CF介質(zhì)引線

電流:

30A

放電電流/電壓

6A / 150 V

離子電流

25 mA(取決于柵網(wǎng)類型和運(yùn)行條件)

離子能量

50 1500 eV

加速電壓

0 –1000 V

過程氣體

惰性氣體,,N2,,不能是活性氣體

氣流流量

2-7sccm

接頭:6 mm Swagelock

2-7sccm

接頭:1/8“Swagelock(空氣和真空)

電連接

HV-DCBNC

HC-DC:電源啟動(dòng)

空氣側(cè):BNC,電源接通

真空側(cè):包括0.5米真空電纜的電源啟動(dòng)



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