RTS-8四探針電阻率測(cè)試儀器是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
儀器由主機(jī),、測(cè)試臺(tái),、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

RTS-8四探針電阻率測(cè)試儀器

電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴(kuò)展),；  
方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：10^-5～10⁵  s/cm；

電阻：10^-5～10⁵  Ω,；

可測(cè)晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；

400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),；

恒流源電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV,；    
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動(dòng)顯示,；

四探針探頭基本指標(biāo)針：

間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω,、0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω,、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

RTS-8四探針電阻率測(cè)試儀器測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試

軟件功能（選配）軟件可記錄、保存,、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值、小值,、平均值,、大百分變化、平均百分變化,、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試,。

計(jì)算機(jī)通訊接口：并口,，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5  秒（在 0.1mA,、1mA,、10mA、100mA量程檔時(shí)）,。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃,；
相對(duì)濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾,；
無(wú)強(qiáng)光直射,；