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RTS-8四探針測試儀參數(shù)：

測量范圍

電阻率：10^-5～10⁵Ω.cm,；

方塊電阻：10^-4～10⁶Ω/□,；

電阻：10^-5～10⁵Ω；

電導(dǎo)率：10^-5～10⁵s/cm,；

可測晶片直徑：140mmX150mm (配S-2A型測試臺),；

               200mmX200mm (配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm (配S-2C型測試臺),；

恒流源

電流量程分為 1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA 六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào),；

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　　

分辨力：10μV,；

輸入阻抗：＞1000MΩ,；   

精度：±0.1%；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動顯示；　　

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm,；

針間絕緣電阻: ≥1000MΩ,；

機(jī)械游移率: ≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼材質(zhì),，探針直徑Ф0.5mm,；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

見探頭附帶的合格證,，合格證含三參數(shù)項(xiàng)：

C：探針系數(shù),； F：探針間距修正因子； S：探針平均間距,；

模擬電阻測量相對誤差（按 JJG508-87 進(jìn)行）

0.01Ω,、0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω,、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字,；

整機(jī)測量大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm 測試)≤±5％,；

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

≤5％；

外型尺寸（大約）

電氣主機(jī): 460mm×320mm×100mm,；

S-2A型測試臺: 190mm×140mm×260mm,；

S-2B型測試臺: 300mm×210mm×400mm；

S-2C型測試臺: 500mm×400mm×350mm,；

儀器重量（大約）

電氣主機(jī): 3.5kg,；

S-2A型測試臺: 2kg；

S-2B型測試臺: 2.5kg,；

S-2C型測試臺: 4kg,；

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度:：23±2℃；

相對濕度：≤65％,；

無高頻干擾；

無強(qiáng)光直射,；

*.注意:使用1μA量程時(shí),，允許有小于1.0nA的空載電流.在相對濕度小于50%時(shí)使用。