RTS-3型手持式四探針測試儀

測量范圍寬,、精度高,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作的手持式設(shè)計(jì),；

體積僅為：185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)； 重量：350g,；

使用鋰電池供電，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí),；

RTS-3型手持式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測量硅晶塊,、晶片電阻率及擴(kuò)散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器,。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn),。如有需要可加配測試臺(tái)使用。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位,、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

RTS-3型手持式四探針測試儀技術(shù)指標(biāo)

測量范圍：

電阻率：0.01～1999.9Ω.cm,；
方塊電阻：0.1～19999Ω/□,；

橫流源 電流量程分為100μA、1mA兩檔,，兩檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV,； 分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,； 精度：±0.1%,；
顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰,；極性,、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)：間距：1±0.01mm,； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ,； 機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,； 探針壓力：5～16 牛頓(總力),；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)：(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對(duì)誤差( 按JJG508-87進(jìn)行)：1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

外形尺寸：185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)

重量：350g

電源：鋰電池,，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí)；

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境：溫度：23±2℃,； 相對(duì)濕度：≤65%,； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射,；