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名稱：KSLA-Tencor SFS6420

制造商：KLA-Tencor

尺寸：8英寸

粒子檢測與計數(shù)

用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細(xì)度

表面分析工具

設(shè)計用于滿足廣泛應(yīng)用的需求

利用最新光學(xué)技術(shù),，易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

高速自動化測試

能實時分析現(xiàn)場條件,，適用于在線和離線應(yīng)用

每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力

多傳感器技術(shù)

提供創(chuàng)新的特性，如多傳感器技術(shù)

實時信息提供

通過統(tǒng)計分析和趨勢分析為用戶提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的實時信息

晶圓檢測系統(tǒng)

用于監(jiān)控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

與KLA-Tencor的其他設(shè)備兼容,，用于PCB組裝板下的WFR檢測