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RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀是一種高性能的橢圓偏光計(jì),，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),。以下是其詳細(xì)規(guī)格參數(shù)：
波長：該設(shè)備配備532nm的激光源,。
樣品尺寸：適用于12英寸晶圓,。
測量功能：
薄膜厚度,、折射率、光學(xué)常數(shù)和材料屬性等,。
可以進(jìn)行無損和原位測量,，具有出色的重復(fù)性,、準(zhǔn)確性和長期穩(wěn)定性。

RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀

Rudolph S3000A 橢圓偏光儀概述

先進(jìn)的光譜橢圓儀

高性能,，精確度高

多通道雙波長光譜橢圓儀

主要特點(diǎn)

波長范圍廣（118-8000nm）

材料范圍廣泛（有機(jī)和無機(jī)半導(dǎo)體,、薄膜等）

可測量薄膜厚度和光學(xué)性能

重復(fù)性和可靠性

技術(shù)規(guī)格

自校準(zhǔn)光機(jī)、光纖激光二極管源和高分辨率彩色CCD檢測器

基于Windows操作系統(tǒng),，先進(jìn)流程控制軟件

自動(dòng)化測量薄膜的厚度,、光學(xué)常數(shù)、應(yīng)力和折射率

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)用透明度計(jì)量工具

晶圓測試和計(jì)量設(shè)備,，適用于半導(dǎo)體和高級封裝生產(chǎn)線

技術(shù)優(yōu)勢

無損光學(xué)成像技術(shù)

X射線探測技術(shù),，測量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性

產(chǎn)品信息

晶圓尺寸為12英寸

設(shè)計(jì)用于300mm fab范圍內(nèi)的應(yīng)用

RUDOLPH S3000A是一款高性能的橢圓偏光儀,，廣泛應(yīng)用于薄膜和表面的無損測量,。該設(shè)備具有以下主要特點(diǎn)：

高精度與高重復(fù)性：RUDOLPH S3000A能夠提供精確、可靠的測量結(jié)果,，適用于科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用,。
多通道雙波長設(shè)計(jì)：它是一種先進(jìn)的多通道、雙波長光譜橢圓偏光儀,，可以同時(shí)對多達(dá)四個(gè)樣品進(jìn)行測量,，確保了結(jié)果的可重復(fù)性和可靠性。
寬波長范圍：該設(shè)備支持從118到8000納米的廣泛波長范圍,，能夠測量有機(jī)和無機(jī)半導(dǎo)體,、薄膜、光學(xué)層和基板等多種材料,。
溫度控制與數(shù)據(jù)收集：配備溫度控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)收集功能,，使得用戶可以方便地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)分析和數(shù)據(jù)分析。
自校準(zhǔn)光機(jī)與高分辨率檢測器：配備自校準(zhǔn)光機(jī)和高分辨率彩色CCD檢測器,，確保了測量的準(zhǔn)確性和長期穩(wěn)定性,。
用戶友好的軟件工具：基于Windows的操作系統(tǒng)和先進(jìn)的流程控制軟件，使操作更加簡便,，并且便于定制和分析,。
晶片尺寸兼容性：可以測量最大150毫米的晶片，樣本厚度范圍為1毫米至4毫米,，還可以通過選配模塊提升性能,。
應(yīng)用領(lǐng)域：該設(shè)備不僅適用于薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的測量，還能夠測量應(yīng)力和折射率等物理特性,，適用于各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用,。

總之，RUDOLPH S3000A是一款功能強(qiáng)大且用途廣泛的橢圓偏光儀,，適合需要高精度和高重復(fù)性的科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,。