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型號(hào): SEMVision CX 200

制造商: Applied Materials

應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體制造環(huán)境

光學(xué)系統(tǒng): 0.2 NA 光學(xué)系統(tǒng)

高分辨率彩色相機(jī)

電動(dòng)龍門

CO2激光準(zhǔn)直光學(xué)設(shè)計(jì)

低噪聲冷卻CCD相機(jī)

可調(diào)LED光源

多測(cè)量模式

改進(jìn)的性能和產(chǎn)量監(jiān)控

支持先進(jìn)集成電路設(shè)計(jì)的制造

檢測(cè)微觀尺度的缺陷和非均勻區(qū)域

自動(dòng)化掩模書寫功能

自動(dòng)化檢查技術(shù)

單晶圓檢測(cè)速度: ≤90 s (在流水線模式下)

單晶圓缺陷吞吐量: ≤500 DPH (可選600 DPH)

單晶圓吞吐量: ≥8 晶圓/小時(shí) (50個(gè)缺陷/晶圓)

清潔等級(jí): Class 1 可接受外界條件影響的結(jié)霜對(duì)機(jī)組性能的影響

API參數(shù): +/-1.5um API (Automatic Process Control)