風冷式冷水機半導體光刻機冷卻

風冷式冷水機

機組特點：

● 主機精選歐,、美,、日全新世界品牌壓縮機，制冷效率高,，低噪音低,，節(jié)省電能，安全環(huán)保耐用,。

● 采用新型環(huán)保制冷劑,，無臭氧破壞，可根據(jù)不同國家和地區(qū)選不同的環(huán)保制冷劑,。

● 控制電氣采用品牌控制電器,，保證機器工作穩(wěn)定，壽命長久,，安全可靠,。

● 水泵,，大排量，低能耗,，省電耐用,，可根據(jù)用戶要求來選擇水泵品牌及揚程和泵體材質(zhì)。

● 低噪音外轉(zhuǎn)子風機或軸流風機,噪音低,風量大,，省電環(huán)保耐用,。

● 配備精密式數(shù)顯溫度控制器，操作方便,，簡單直觀,。能精確控制水溫±1℃，設(shè)定溫度范圍 5 ℃ -50 ℃,，可直接分析機組的運行狀況,。(可根據(jù)用戶要求配置控制系統(tǒng)。)

● 標配干式殼管式蒸發(fā)器或（不銹鋼板式蒸發(fā)器）,，內(nèi)置高效換熱管,，設(shè)計合理，換熱效果良好,；清洗維護方便快捷,。

●冷凍水流體路采用高效能絕熱材料保溫，損失冷量少,，更佳省電耐用,。

● 水冷機組冷凝器采用高效能殼管式換熱器（可選配不銹鋼板式換熱器），內(nèi)置高效換熱齒牙管,，設(shè)計合理,，換熱效果良好；

● 風冷機組采用高效防腐散熱器,，由高效防腐的散熱鋁箔加上高效的螺紋換熱的螺紋銅管組成,，制造時采用二次翻邊翹片機械漲管工藝和*換熱器生產(chǎn)線，保證優(yōu)質(zhì)高效環(huán)保節(jié)能,。

● 靜電噴塑外殼,，歐化設(shè)計，美觀大方,，外表板采用快速拆裝形式,，方便使用和維護。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機組一般是在標準工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃,，供水溫度7℃,，溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說,，其運行條件不變,，外界負荷一定的情況下,，冷水機組的制冷量是一定的。此時,，通過蒸發(fā)器的冷水流量與供,、回水溫差成反比，即冷水流量越大,，溫差越?。环粗?，流量越小，溫差越大,。所以,，冷水機組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃，這實際上是規(guī)定了機組的冷水流量,。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過蒸發(fā)器的太力降,。

　　在標準工況下，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2,。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開度,，和蒸發(fā)器供、回水閥門開度,。閥門開度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力,；機組在負擔設(shè)計負荷的情況下運行，蒸發(fā)器進,、出水溫差為5℃,。此時進、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右,。

　　按照上述要求,，閥門一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門開度大小就應(yīng)相對穩(wěn)定不變,。即使在非調(diào)定工況下運行（如卸載運行）旱,，各閥門也應(yīng)相對穩(wěn)定不變。應(yīng)當注意,，全開閥門加大冷水流量,，減少進、出水溫差的做法是不可取的,。這樣做雖然會使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高,，機組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高,，兩相比較得不償失,。所以,，蒸發(fā)器冷水側(cè)進、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜,。

　　一般來說,，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了,，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來判別,。然后通過控制冷水泵出水閥的開度，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力,。將出水閥開度關(guān)小,，則冷水泵背壓提高，通過水泵的流量減少,，水泵功率消耗下降,，這時蒸發(fā)器的供水壓力下降，但該壓力無論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供,、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求,。

　　為了冷水機組的運行安全，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃,。此外,，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴重,，但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā),，應(yīng)每年對蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。

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