光刻機冷卻裝置水冷式冷水機

冷水機組采用*的微電腦智能化控制系統(tǒng)，精確控制工業(yè)生產(chǎn)過程所需的各種溫度（5℃～35℃）,。不僅調(diào)控溫度全面實現(xiàn)人機界面功能且保證機組控溫精度高達(dá)±1℃,。對于其他溫度范圍可按要求定制。

1,、制冷壓縮機及其它制冷配件和控制元器件均采用國內(nèi),不僅保證機組性能的充分發(fā)揮,，同時確保機組具有較長的使用壽命。

2,、冷水機組具備完善的保護裝置（高壓,、低壓、過壓,、欠壓,、過載,、缺相、時間延時,、缺水保護等）及聯(lián)鎖控制線路,且主要故障均在面板上顯示,檢修簡易,。

3、節(jié)流方式均采用外平衡熱力膨脹閥控制,，溫度調(diào)節(jié)范圍廣,，制冷劑流量自動控制，機組運行穩(wěn)定,，能效比高,，與目前市場上普遍采用的毛細(xì)管節(jié)流相比，具有*的*性,。當(dāng)工況如環(huán)境溫度,、要求的水溫、熱負(fù)荷等變化時,，毛細(xì)管無法自我調(diào)節(jié),，此時制冷量下降，同時可能會造成壓縮機排氣溫度過高,、潤滑性下降或液擊,，直接影響機組的使用壽命，嚴(yán)重時制冷系統(tǒng)無法正常工作,。

4,、水冷式冷凝器采用無縫齒狀外螺紋銅管殼管式，數(shù)控車床精細(xì)加工,，具有特強換熱效率,，壽命長，可拆洗等優(yōu)點,；風(fēng)冷式冷凝器采用蜂窩鋁翅片串高效內(nèi)螺紋紫銅管配合高效軸流風(fēng)機,，換熱效果非常好。

5,、蒸發(fā)器可根據(jù)不同用途選擇如（不銹鋼水箱盤管式,、不銹鋼板式、干式殼管式,、電鍍耐酸蒸發(fā)器）,。

6、選不銹鋼優(yōu)質(zhì)水泵,，干燥過濾器等部件勻采用美國艾默森品牌,，可靠耐用。

7、按需內(nèi)置或外置補給貯水箱,，避免啟停頻繁,，自動或手動補充水。

有適合各種機械設(shè)備配套之機型,，可按客戶要求特別制造,。

特殊配電要求可定制。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機組一般是在標(biāo)準(zhǔn)工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃,，供水溫度7℃,，溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說,，其運行條件不變,，外界負(fù)荷一定的情況下，冷水機組的制冷量是一定的,。此時,，通過蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比,，即冷水流量越大,，溫差越小,；反之,，流量越小,，溫差越大,。所以，冷水機組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃,，這實際上是規(guī)定了機組的冷水流量,。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過蒸發(fā)器的太力降。

　　在標(biāo)準(zhǔn)工況下,，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2,。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開度，和蒸發(fā)器供,、回水閥門開度,。閥門開度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力；機組在負(fù)擔(dān)設(shè)計負(fù)荷的情況下運行,，蒸發(fā)器進,、出水溫差為5℃。此時進,、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右,。

　　按照上述要求，閥門一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門開度大小就應(yīng)相對穩(wěn)定不變,。即使在非調(diào)定工況下運行（如卸載運行）旱,，各閥門也應(yīng)相對穩(wěn)定不變。應(yīng)當(dāng)注意,，全開閥門加大冷水流量,，減少進、出水溫差的做法是不可取的,。這樣做雖然會使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高,，機組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高,，兩相比較得不償失,。所以，蒸發(fā)器冷水側(cè)進,、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜,。

　　一般來說，冷水供水管上的壓力,，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了,，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度,，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力,。將出水閥開度關(guān)小，則冷水泵背壓提高,，通過水泵的流量減少,，水泵功率消耗下降，這時蒸發(fā)器的供水壓力下降,，但該壓力無論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供,、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機組的運行安全,，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃,。此外，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的,，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴(yán)重,，但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā)，應(yīng)每年對蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次,。

【光刻機冷卻裝置水冷式冷水機】