技術(shù)參數(shù)

1、機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格

2120(W)×1800(D)×2000H)  mm

2,、真空室規(guī)格

進(jìn)口合金鋁1140(W)×1500（D)×1130(H)   mm

3,、電極板規(guī)格

進(jìn)口美鋁950H×1230D mm

4、真空電極結(jié)構(gòu)

垂直電極板16層,，可處理15層工件

5,、真空泵系統(tǒng)

Hanbell干式真空機(jī)組

6、真空測(cè)定系統(tǒng)

高精密薄膜硅真空計(jì)

7,、真空供氣系統(tǒng)

Ф6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路

8,、真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管

9、破真空系統(tǒng)

倒計(jì)時(shí)自動(dòng)開合啟動(dòng)

10,、PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)

德國西門子200SMART-PLC及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換,、A/D轉(zhuǎn)換、溫度控制）

11,、人機(jī)工控系統(tǒng)

MCGS觸屏工控電腦

12,、變頻控制系統(tǒng)

德國SIEMENS，PID閉環(huán)控制,，真空度可維持

13,、機(jī)臺(tái)冷卻系統(tǒng)

SKYTECK冰水機(jī)水冷，采用內(nèi)部獨(dú)立中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng)

14,、溫度控制系統(tǒng)

德國西門子200SMART溫度傳感模塊,，PID閉環(huán)控制，作業(yè)過程溫度可控

15,、冰水機(jī)

國產(chǎn)品牌5.0P

16,、輸入氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

5路 日本SMC自動(dòng)報(bào)警氣壓表（帶過濾裝置）

17、氣體控制系統(tǒng)

5路 日本SMC電磁閥門

18,、氣體計(jì)量系統(tǒng)

SevenStar- MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)精確控制流量

19,、等離子發(fā)生器

額定功率：0-20KW,全自動(dòng)匹配

20、其他組件

國內(nèi)外元器件

機(jī)臺(tái)*之條件

1,、壓縮空氣要求

0.6～0.8MPa

2,、循環(huán)冷卻水用量

3～7 SLM

3,、抽風(fēng)系統(tǒng)

≥2立方/分鐘,，中央尾氣處理管道即可

技術(shù)指標(biāo)

1、機(jī)臺(tái)總重

約2500KG

2,、額定功率

額定功率45KW

3,、機(jī)臺(tái)供電

三相五線式 AC 380V  50/60Hz

4、腔體容積

1140(W)×1500（D)×1130(H)    mm

5,、電極板數(shù)量

垂直極板16層

6,、處理層數(shù)及托架

15層

7,、單層處理大面積

950(H)×1230(D )mm

8、單次處理總面積

約7M2

9,、單次處理時(shí)間

10-60分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征,，時(shí)間設(shè)定不同）

10、工作真空度

0.15～0.3Torr （可根據(jù)要求設(shè)定,，可恒定真空度）

11,、泵可抽極限壓力

4.0X10-1Torr

12、抽真空時(shí)間

≤180秒

13,、破真空時(shí)間

≤60秒

14,、等離子發(fā)生器功率

額定功率20KW；0-20KW自動(dòng)設(shè)定調(diào)節(jié),，全自動(dòng)匹配

15,、等離子發(fā)生器頻率

40KHz±100Hz

16、供氣方式

高壓瓶裝氣體14MPa,，減壓至0.1-0.3MPa

17,、流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍

0-1000毫升/分鐘，0-3000毫升/分鐘,；全自動(dòng)調(diào)節(jié)

18,、溫度控制調(diào)節(jié)范圍

5匹速冷，30-85℃可調(diào)