OKSUN-PM120L系列等離子機臺標(biāo)準(zhǔn)配置

機臺名稱:等離子體表面處理系統(tǒng)

機臺型號:PM120L

機臺用途:Ar2或O2或干燥Air等氣體通入,，不同組合用于不同工藝制造,， 可用于玻璃、塑膠工件,、金屬基工件,、陶瓷等工件表面改性,，表  面清潔等工藝

一,、技術(shù)參數(shù)

1.機臺整機規(guī)格

1320(W)×1720(H)×1100(D)mm

2.真空室規(guī)格

進(jìn)口鋁 500(W)×500(H)×500(D)mm

3.電極板規(guī)格

鋁電極 482(W)×402(D)mm

4.單層有效面積

432（W）×352（D）

5.真空電極結(jié)構(gòu)

水平電極板8層

6.真空發(fā)生系統(tǒng)

機械旋片真空泵+羅茨泵

7.PLC自動控制系統(tǒng)硬件

工控可編程控制器及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換）德國西門子

8.人機工控系統(tǒng)

觸摸屏式全中文界面,MCGS

9.PLC及人機工程軟件

奧坤鑫科技自主研發(fā)

10.真空測定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計,日本愛發(fā)科

11.真空供氣系統(tǒng)

Ф6品牌軟管+不銹鋼鎖套管路,國產(chǎn)品牌

12真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管,自主

13破真空系統(tǒng)

氣動高真空閥

14.氣體控制系統(tǒng)

2路日本CKD電磁閥門,日本CKD

15.氣體計量系統(tǒng)

2路MFC（氣體質(zhì)量流量計）精確控制流量：Ar O2/H2/SevenStar

16等離子發(fā)生器

等離子發(fā)生器0-5KW（可調(diào)）

17.其他組件

國內(nèi)外元器件

二,、技術(shù)指標(biāo)

1.機臺總重

約650kg

2.額定功率

額定功率 8KW

3.機臺供電

三相五線式 AC-380V

4.腔體容積

進(jìn)口鋁 500(W)×500(H)×500(D)mm

5.電極板數(shù)量

水平電極8層

6.單層處理大面積

鋁電極 432(W)×352(D)mm

7.單次處理時間

工藝不同,，處理時間不同,表面活化改性5-10分鐘內(nèi)

8.工作真空度

20-100Pa

9.真空泵極限壓力

5.0X10-1Pa

10.抽真空時間

≤120秒（空載測試）

11.破真空時間

≤30秒（空載測試）

12.等離子發(fā)生器功率

0-5KW（全自動匹配）

13.供氣方式

高壓瓶裝氣體14MPa,減壓至0.3MPa

14.流量計調(diào)節(jié)范圍

0-500sccm（毫升/分鐘）可調(diào)

15.操作方式

人工取放工件，一鍵啟動自動控制

16.其他

鋁質(zhì)前門進(jìn)氣套件