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當(dāng)前位置:蘇州福佰特儀器科技有限公司>>材料界面化學(xué)儀器>>真空等離子清洗機>> 半導(dǎo)體SPA-100離子清洗機清洗原理
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產(chǎn)品型號半導(dǎo)體SPA-100
品 牌晟鼎
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
更新時間:2024-12-03 10:19:59瀏覽次數(shù):2884次
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(1)SPV100真空等離子清洗機產(chǎn)品簡述
?。?.1)離子清洗機清洗原理的主要是:
?。ˋ)對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子,、自由基等多種活性粒子,,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),,而且會產(chǎn)生刻蝕作用,,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,,增大了樣品的比表面,。提高固體表面的潤濕性能。
?。˙)激活鍵能,,交聯(lián)作用SPV100真空等離子清洗機等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,,因此等離子體作用到固體表面后,,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),,大大地激活了表面活性,。
(C)形成新的官能團--化學(xué)作用如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,,那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團,,如烴基,、氨基、羧基等,,這些官能團都是活性基團,,能明顯提高材料表面活性。
(1.2)離子清洗機清洗原理等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,,已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用,。與傳統(tǒng)的一些清洗方法,如超聲波清洗,、UV清洗等,,以下優(yōu)點:
(A)處理溫度低處理溫度可以低至80℃,、50℃以下,,低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。
?。˙)處理全程無污染等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備,,不產(chǎn)生任何污染,處理過程也不產(chǎn)生任何污染。
?。–)處理效果穩(wěn)定等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定,,常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。
?。―)可以處理各種形狀的樣品對于復(fù)雜形狀的樣品,,等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗,。
(1.2)產(chǎn)品原理等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成:控制系統(tǒng),、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體,、工藝氣體系統(tǒng),、以及真空泵系統(tǒng)。
(A)控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)的功能在于控制整個設(shè)備的運行,,包括人機界面(觸摸屏),、PLC、電氣電路,。采用全自動控制系統(tǒng)的真空等離子清洗,,可實現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O(shè)備進行控制,滿足不同客戶的需求,。
?。˙)激勵電源系統(tǒng):激勵電源主要有三類:40KHz的中頻激勵電源,13.56MHz的射頻激勵電源,,2.45GHz的微波激勵電源,。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應(yīng)用場合不同,。
?。–)真空腔體:真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的:1)鋁合金腔體,2)不銹鋼真空腔體,,3)石英腔體,。根據(jù)用戶的不同需求,可實現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能,。
?。―)工藝氣體系統(tǒng):SPV100真空等離子清洗機
工藝氣體包括流量計、氣壓閥等,,用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案,,氬氣、氧氣,、氫氣,、氮氣,、四氟化碳等,可滿足不同工藝方案要求,。清洗各種產(chǎn)品表面,。
(E)真空泵:真空泵分為油泵,、干泵,、羅茨泵,油泵主要采用雙級旋片泵,,根據(jù)用戶所采用的腔體體積,、工作效率、環(huán)境要求來制定真空泵的方案,。
?。?.1)技術(shù)參數(shù)
電源系統(tǒng) | 晟鼎定制射頻電源:頻率13.56MHz;功率0~600W可調(diào),; 全自動真空電容匹配器 |
真空系統(tǒng) | 晟鼎定制雙級旋片泵(油泵):60m3/h 可選配晟鼎定制羅茨泵250m3/h 真空計:日本英??灯だ嵴婵沼?/span> 真空管路:全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管 |
腔體系統(tǒng) (可定制) | 鋁合金真空腔體,,高級焊接密封,,25mm厚度 腔體內(nèi)部尺寸:450×450×500mm(寬×高×深) 電極板布置方式:水平布置,可活動抽取 工作托盤:可選配 空間層數(shù):8層 |
氣體系統(tǒng) | 氣壓閥,,日本SMC 流量計,,七星華創(chuàng)品牌,0~300SCCM 兩路工藝氣體:氬氣,、氧氣 (氬氣,、氧氣、氮氣,、氫氣、四氟化碳可選) |
控制系統(tǒng) | PLC,,德國西門子S系列 觸摸屏,,威綸通,七寸屏幕 電氣部件:德國施耐德品牌 |
其它參數(shù) | 外形尺寸:890×1745×1000mm(寬×高×深) 重量:400KG 顏色:銀灰色 |
(2.2)尺寸參數(shù)
(3)性能優(yōu)勢
?。?.1)*電源:采用*高壓激勵電源電路技術(shù),,產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果,。
?。?.2)全面安全防護:溫度安全防護功能,過載防護功能,,短路斷路報警防護功能,,各種誤操作保護功能,。
(3.3)*放電技術(shù):特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體,。
(3.4)密封性的真空腔體設(shè)計:高級的高真空度真空腔體設(shè)計及制造工藝,,配置進口真空泵,。
(3.5)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件,,確保設(shè)備性能*
?。?.6)超低清洗溫度:滿足不同場合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響,。
?。?.7)精密數(shù)控加工:進口精密CNC數(shù)控機床加工工藝,并配備進口三坐標(biāo)測量儀進行質(zhì)量監(jiān)控,。
?。?.8)適用形狀復(fù)雜樣品:清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,包括內(nèi)孔內(nèi)壁,,*均勻清洗
?。?)案例及定制
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