（1）SPV100真空等離子清洗機產(chǎn)品簡述

　　（1.1）離子清洗機清洗系統(tǒng)主要是：

　?。ˋ）對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子,、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,，作用到固體樣品表面,，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用,，將樣品表面變粗糙,，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面,。提高固體表面的潤濕性能,。

　　（B）激活鍵能,，交聯(lián)作用SPV100真空等離子清洗機等離子體中的粒子能量在0~20eV,，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后,，可以將固體表面的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂,，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結構，大大地激活了表面活性,。

　?。–）形成新的官能團--化學作用如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應,，引入新的官能團,，如烴基、氨基,、羧基等,，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性,。

     （1.2）離子清洗機清洗系統(tǒng)等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,，已經(jīng)在眾多領域廣泛使用。與傳統(tǒng)的一些清洗方法,，如超聲波清洗,、UV清洗等，以下優(yōu)點：

　?。ˋ）處理溫度低處理溫度可以低至80℃,、50℃以下,，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

　?。˙）處理全程無污染等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備,，不產(chǎn)生任何污染，處理過程也不產(chǎn)生任何污染,。

　?。–）處理效果穩(wěn)定等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好,。

　?。―）可以處理各種形狀的樣品對于復雜形狀的樣品,，等離子清洗都能找到合適的解決方案,。真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。

（1.2）產(chǎn)品原理等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng),、激勵電源系統(tǒng),、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng),、以及真空泵系統(tǒng),。

（A）控制系統(tǒng)：

　　控制系統(tǒng)的功能在于控制整個設備的運行，包括人機界面（觸摸屏）,、PLC,、電氣電路。采用全自動控制系統(tǒng)的真空等離子清洗,，可實現(xiàn)多種模式多種程序對清洗設備進行控制,，滿足不同客戶的需求。

　?。˙）激勵電源系統(tǒng)：激勵電源主要有三類：40KHz的中頻激勵電源,，13.56MHz的射頻激勵電源，2.45GHz的微波激勵電源,。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源,。各自應用場合不同。

　?。–）真空腔體：真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的：1）鋁合金腔體,，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體,。根據(jù)用戶的不同需求,，可實現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。

　?。―）工藝氣體系統(tǒng)：SPV100真空等離子清洗機

　　工藝氣體包括流量計,、氣壓閥等,，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣,、氧氣,、氫氣、氮氣,、四氟化碳等,，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面,。

　?。‥）真空泵：真空泵分為油泵、干泵,、羅茨泵,，油泵主要采用雙級旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積,、工作效率,、環(huán)境要求來制定真空泵的方案。

（2.1）技術參數(shù)

（2.2）尺寸參數(shù)




       （3）性能優(yōu)勢

　?。?.1）*電源：采用*高壓激勵電源電路技術,，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果,。

　?。?.2）全面安全防護：溫度安全防護功能,，過載防護功能，短路斷路報警防護功能,，各種誤操作保護功能,。

　　（3.3）*放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置,，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體,。

　　（3.4）密封性的真空腔體設計：高級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,，配置進口真空泵,。

　　（3.5）優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件：產(chǎn)品全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件,，確保設備性能*

　?。?.6）超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響,。

　?。?.7）精密數(shù)控加工：進口精密CNC數(shù)控機床加工工藝,，并配備進口三坐標測量儀進行質(zhì)量監(jiān)控,。

　　（3.8）適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品,，包括內(nèi)孔內(nèi)壁,，*均勻清洗

　　（4）案例及定制