等離子清洗是等離子表面改性的其中較為常見的一種方式。
等離子清洗的清洗方法有以下幾種類型：
?。?）對材料表面的刻蝕作用--物理作用
等離子體中的大量離子,、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,，作用到固體樣品表面,，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用,，將樣品表面變粗糙,，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面,。提高固體表面的潤濕性能,。
（2）激活鍵能，交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV,，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂,，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯(lián)結構,，大大地激活了表面活性。
?。?）形成新的官能團--化學作用
如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應,，引入新的官能團,，如烴基、氨基,、羧基等,，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性,。
等離子清洗機,！
