一·金屬晶單晶制備用晶體生長爐長晶爐設(shè)備用途

　　主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體制備,，氟化物類晶體生長,，燒結(jié)，退火等處理

二·金屬晶單晶制備用晶體生長爐長晶爐產(chǎn)品特點(diǎn)

1·模塊化設(shè)計(jì),，結(jié)構(gòu)緊湊,，外形美觀，

2·采用底部電動升降和鐘罩式爐體升降,，結(jié)構(gòu)精巧,，方便，移動平穩(wěn)裝卸料方便

3· 采用觸摸屏+plc控制方式,，自動化程度高,，操作直觀，功能強(qiáng)大,。

4· 在觸摸屏內(nèi)可預(yù)存幾十種燒結(jié)工藝,，一次編輯，以后直接調(diào)用使用,，省去多次編輯工藝的麻煩,，避免輸入錯(cuò)誤，燒壞產(chǎn)品,。

5· 燒結(jié)的溫度,，真空度，等數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)記錄,，也可隨時(shí)啟動停止記錄,，減少無用數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)可查詢,，可導(dǎo)出下載,。

6· 燒結(jié)溫度高，用石墨發(fā)熱體,，可達(dá)1600℃,，

三·設(shè)備參數(shù)

1·設(shè)備總功率：≤15Kw,；電源電壓：3相380V,50Hz

2·溫度：1650℃ 加熱功率 ≤8Kw 單相220V

3·額定溫度：室溫~1600℃

4. 工作區(qū)尺寸：Ф60×100mm（直徑×高,，）

5·爐體內(nèi)徑Ф300Ф500mm（暫定）

6.測溫系統(tǒng)：                   鎢萊熱電偶

7.控溫精度：                   ±0.1℃

8.加熱區(qū)：                    Ф80×120mm

9.坩堝下降速度：              慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）

快速升降50-200mm/min（帶手動升降）

  位移行程 ≤150mm

10.中心軸有效行程/載重：      ≤300mm/20kg

11.爐內(nèi)充氣壓力：             ≤0.05MPa

四,、結(jié)構(gòu)說明

1,、爐蓋：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),，內(nèi)外壁為304不銹鋼,，內(nèi)外壁與爐體上下法蘭組焊成整體結(jié)構(gòu),，爐蓋設(shè)有鎖緊裝置。內(nèi)外壁都做精密拋光處理,，爐蓋上留有充放氣閥,，壓力表等標(biāo)準(zhǔn)接口,。

2,、爐體機(jī)構(gòu)：同樣采用外壁為304不銹鋼材料雙層水夾層結(jié)構(gòu),，內(nèi)、外壁作精密拋光處理,，爐體與下法蘭組成筒型結(jié)構(gòu),，法蘭平面開設(shè)密封槽。采用“O"形圈真空密封,，并設(shè)水冷裝置（防止因溫度過高使“O"形圈老化,。側(cè)部設(shè)計(jì)有加熱電極以及測溫裝置接口,，還配置有標(biāo)準(zhǔn)KF真空接口,。

3,、爐底及升降裝料機(jī)構(gòu)：爐底與爐體采用“O"圈真空密封，并設(shè)水冷裝置，真空系統(tǒng)及坩堝電動伺服絲桿升降,，爐底與爐體的聯(lián)接均采用緊固壓緊密封,。爐底法蘭整個(gè)安裝在一線性模組上，可整體升降,，用于裝卸材料使用,。爐底配置晶體生長用線性模組，由伺服電機(jī)帶動,，用于坩堝升降,，做晶體生長使用。升降桿與爐底采用焊接波紋管密封,，防止行走過程真空的泄漏,，保證密封的可靠性。

4,、發(fā)熱元件及隔熱屏：加熱采用高純石墨作發(fā)熱體,，純度高，無揮發(fā),，有效保證爐腔內(nèi)的清潔度,。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈，保溫效果好,，耐沖擊性好,。整個(gè)隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護(hù),。溫度控制采用一支鎢錸熱電偶全稱控溫測溫使用,。同時(shí)，在隔熱屏外設(shè)置一支監(jiān)控?zé)犭娕?，監(jiān)控隔熱屏外溫度,，提高設(shè)備的安全使用性能效率高耐沖擊性強(qiáng)發(fā)熱體與爐體電極聯(lián)接，水冷電極安裝在電爐側(cè)部,，并設(shè)冷卻水通水冷卻,。

5、真空系統(tǒng)：由TRP-16機(jī)械泵,和高真空氣動擋板組成,，并配有真空壓力表,、充氣閥、放氣閥,。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接（減緩震動）,，真空測量選用具有數(shù)字顯示功能的復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。

6,、溫控系統(tǒng)：控制加熱系統(tǒng)有可控硅調(diào)壓器+低壓高流大功率變壓器+測溫裝置,，組成閉環(huán)控制系統(tǒng)，溫度儀表采用程序儀表帶PID自動調(diào)節(jié)功能，帶自整定自我調(diào)整能力,。穩(wěn)定可靠,，控制精度高。控制系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏的方式,，溫度,、真空、位移數(shù)據(jù)可記錄可查詢,，曲線可現(xiàn)實(shí),，數(shù)據(jù)可保存可導(dǎo)出，溫度程序數(shù)據(jù)可編譯可保存可調(diào)用,。控制系統(tǒng)集中安放在爐架的一側(cè)箱體內(nèi),，整結(jié)大方，維修方便,，所有器件均采用施耐德,，西門子等品牌，保證使用安全,?？刂葡涔裆隙加邪踩举N,，安裝接線標(biāo)準(zhǔn)化制作,。

7、水冷分配系統(tǒng)：由主管道,、分管路,、水閥、壓力報(bào)警等相關(guān)裝置組成,，具有斷水聲光報(bào)警及自動切斷電源等功能,。

8、變壓器及聯(lián)接電纜：采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜

五·設(shè)備配置

1·高真空室                  1臺

2·發(fā)熱體                    1套

3·抽真空系統(tǒng)                1套

4·真空測量裝置              1套

5·控制系統(tǒng)（plc+觸摸屏）    1套

6·坩堝及保溫套              1套                    

7·惰性氣體充放氣裝置        1套

8·設(shè)備操作說明書            1套

9·設(shè)備質(zhì)保書                1套