目錄:束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司>>三維X射線顯微鏡(XRM)>> Freiberg-Omega/Theta XRDX射線單晶定向儀-Omega掃描
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更新時(shí)間:2024-09-12 07:30:21瀏覽次數(shù):3060評(píng)價(jià)
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,航天,電氣 |
?產(chǎn)品介紹
德國Freiberg Instruments(弗萊貝格儀器)公司的Omega/Theta XRD(X射線單晶定向儀-Omega掃描)主要針對(duì)半導(dǎo)體晶體材料和光學(xué)材料生產(chǎn)研發(fā),該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結(jié)構(gòu)并檢測單晶取向,,具有成熟的單晶X射線衍射儀(XRD)技術(shù),且可集成至全自動(dòng)生產(chǎn)線中,,是一臺(tái)可測大直徑的全自動(dòng)晶圓和鑄錠定向檢測分揀設(shè)備,。
?技術(shù)特點(diǎn)
--全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀,使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體的方向,。配備可容納長達(dá)450毫米和30公斤的樣品及樣品架,;
--自動(dòng)化測量,并通過定制軟件進(jìn)行訪問,。利用Omega掃描,,可在晶體旋轉(zhuǎn)(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,,但每次掃描只產(chǎn)生一個(gè)方向分量,;
--準(zhǔn)確地確定傾斜角度,Theta掃描精度達(dá)到0.001°,;
--模塊化系統(tǒng),,并配備了多功能需求擴(kuò)展。
?行業(yè)應(yīng)用
具有多種幾何形狀和大小的樣品
根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同,,晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀,。Omega/Theta X射線衍射儀(X射線單晶定向儀-Omega掃描)可以處理大塊鋼錠或鋼球和實(shí)驗(yàn)合成的微小晶體,。
非線性光學(xué)材料(NLO):晶體質(zhì)量和定向
與典型的無機(jī)金屬,、半導(dǎo)體和絕緣體相比,NLO材料具有更復(fù)雜的晶體結(jié)構(gòu)和更低的對(duì)稱性,。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內(nèi)的小棒,,而對(duì)這種小晶體的表面質(zhì)量測定常常可以揭示晶體內(nèi)部的結(jié)構(gòu)缺陷和裂紋,。通過對(duì)Omega/Theta的設(shè)計(jì)進(jìn)行的一些特殊的修改,,我們的定向儀能夠確定許多NLO材料,如LBO, BBO和TeO2的的晶向,。
平面方向的標(biāo)記和測量
Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位,。因此,平面方向可以直接識(shí)別,。這是一個(gè)有用的功能,,以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
搖擺曲線:晶體表面評(píng)價(jià)
搖擺曲線測量對(duì)晶格內(nèi)的缺陷和應(yīng)變場很敏感,。將這種技術(shù)與映射階段相結(jié)合,,可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。通過裝備一個(gè)具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀,可以直接測量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射,。
如下圖顯示的結(jié)果,,這種映射的碳化硅晶圓片的內(nèi)部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長缺陷有關(guān),。
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