♦ X射線(xiàn)熒光光譜通常用于分析均勻樣品中的成分含量。對(duì)于大多數(shù)樣品來(lái)講,，樣品中被激發(fā)的各個(gè)元素的X射線(xiàn)熒光只來(lái)自于樣品表面,，樣品內(nèi)部的X射線(xiàn)熒光被樣品本身吸收了。所以,，X射線(xiàn)熒光信號(hào)的強(qiáng)度與樣品的厚度無(wú)關(guān),。這種樣品稱(chēng)之為無(wú)限厚樣品。
♦ 當(dāng)樣品很薄時(shí),，比如鍍層樣品,，樣品中被激發(fā)的X射線(xiàn)熒光可能會(huì)穿透鍍層，鍍層的厚薄會(huì)影響X射線(xiàn)熒光信號(hào)的強(qiáng)弱,，鍍層越厚,，鍍層中被激發(fā)的X射線(xiàn)熒光信號(hào)就越強(qiáng)。
♦ 當(dāng)鍍層的厚度或鍍層的成分發(fā)生變化時(shí),，X射線(xiàn)熒光的信號(hào)會(huì)隨之變化,。通過(guò)建立鍍層厚度和成分與X射線(xiàn)信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)聯(lián)關(guān)系，就可以分析鍍層的厚度和成分,。
鍍層樣品
非無(wú)限厚樣品
當(dāng)樣品的厚度達(dá)不到無(wú)限厚時(shí),，如鍍層樣品,，X射線(xiàn)熒光信號(hào)的強(qiáng)度取決于：
♦ 鍍層的厚度
♦ 鍍層中各元素的含量
2種分析鍍層厚度的方法
發(fā)射方法和吸收方法
測(cè)量鍍層中的元素
發(fā)射方法
測(cè)量基底元素
吸收方法（鍍層對(duì)基底元素的吸收）
X射線(xiàn)熒光和鍍層厚度的關(guān)系
基底元素信號(hào)與鍍層厚度的關(guān)系
發(fā)射方法可以分析的鍍層厚度：
<產(chǎn)生90%的信號(hào)的厚度
吸收方法可以分析的鍍層厚度：
<3 × 吸收90%信號(hào)的厚度
♦ 鍍層越厚,，對(duì)基底元素的X射線(xiàn)熒光信號(hào)的吸收就越嚴(yán)重
♦ 吸收方法可以分析的厚度：3倍的90%吸收的厚度
♦ 發(fā)射方法適合測(cè)量薄鍍層,，吸收方法適合測(cè)量厚鍍層
例子1：
采用發(fā)射方法測(cè)量鍍層
♦ 樣品: （探測(cè)器窗膜）聚合物上鍍了23 nm的Al
♦ 需要輸入的信息
1.基底材料：100%CH2
2.鍍層材料：100% Al
3.鍍層密度：2.7g /cm3
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♦ 測(cè)量的譜線(xiàn)：Al Ka1
♦ 鍍層軟件的分析結(jié)果：23.2 nm
♦ 通過(guò)測(cè)量鍍層材料中 Al Ka1 ，根據(jù)Al Ka1 的發(fā)射情況,，計(jì)算鋁鍍層的厚度,。
例子2：
采用吸收方法測(cè)量鍍層
♦ 樣品：Zn的上面鍍了10 µm的Al
♦ 需要輸入的信息
1.基底材料：100% Zn
2.鍍層材料：100% Al
3.鍍層密度：2.7g /cm3
♦ 測(cè)量的譜線(xiàn)：Zn Ka1
♦ 鍍層軟件的分析結(jié)果：9.74 µm
♦ 通過(guò)測(cè)量基底材料中Zn Ka1，根據(jù)鋁鍍層對(duì) Zn Ka1 的吸收情況,，計(jì)算鋁鍍層的厚度,。
ML-QUANT 多層膜分析軟件
可以分析各層的成分和厚度
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