作為的X射線衍射儀供應(yīng)商，布魯克AXS一直致力于為廣大用戶帶來(lái)前沿的技術(shù)和解決方案,。多功能和智能化是現(xiàn)代X衍射儀的發(fā)展方向。近,，布魯克AXS公司在廣泛好評(píng)的twin光路的基礎(chǔ)上,，再次創(chuàng)造性推出了了符合多功能X衍射儀發(fā)展趨勢(shì)需求的TRIO光路系統(tǒng)。
配備TRIO光學(xué)系統(tǒng)的X射線衍射儀系統(tǒng),，可實(shí)現(xiàn)從適用于粉末樣品的BB幾何到適合單晶外延薄膜樣品的高分辨單色Ka1平行光路的自由切換,。因此，這樣的衍射儀系統(tǒng)能夠滿足所有類型的樣品測(cè)試要求,，包括粉末,，塊體，纖維,，非晶,，甚至單晶外延薄膜。
▲TRIO光路
TRIO-光路組成
▲自動(dòng)狹縫：傳統(tǒng)的Bragg-Brentano聚焦幾何-粉末樣品
▲Goebel鏡：高強(qiáng)度的平行光幾何-GID,，XRR,，透射，表面高低不平樣品
▲Goebel鏡+2次反射單色器：高分辨平行光Ka1幾何(HRXRD)-單晶外延膜(RC, 2theta-omega, Phi-Scan, RSM),，Ka1高分辨粉末衍射
TRIO-應(yīng)用舉例
1
Bragg-Brentano粉末衍射
高鐵含量的粉末樣品,。得益于布魯克先進(jìn)的能量分辨陣列探測(cè)器，鐵的熒光背底*被去除,，大大的提高了衍射圖譜的數(shù)據(jù)質(zhì)量,，樣品中的微量物相-石英和Fe3O4-清晰可見(jiàn)。
2
平行光
(MgZn)O薄片樣品從室溫到1100度升降溫過(guò)程中的相變過(guò)程,。由于樣品高度會(huì)隨溫度變化而改變,，在傳統(tǒng)的BB幾何中，衍射圖譜向高角度或低角度偏移,，這會(huì)影響觀察相變過(guò)程和準(zhǔn)確晶胞參數(shù)的確定,。而平行光幾何對(duì)高度變化不敏感,，非常適合此類樣品的測(cè)試。從上圖可得到,，立方主相的晶胞參數(shù)隨溫度變化的范圍為1.2%,。在下邊的2D視圖中，除了主相衍射峰位和峰強(qiáng)隨溫度變化外,，還可觀察到明顯第二相CuO的出現(xiàn)和消失,。
3
GID-掠入射衍射
利用低角度入射的平行關(guān)，控制X射線在樣品中的穿透深度,，使衍射只發(fā)生在樣品表面的一定深度內(nèi),，來(lái)實(shí)現(xiàn)多晶薄膜樣品的測(cè)試。在玻璃襯底上制備的Ag2Te納米薄膜樣品,，傳統(tǒng)的BB幾何和平行光GID測(cè)試結(jié)果的對(duì)比,，如下圖。GID圖譜中,，來(lái)自納米級(jí)薄膜的信號(hào)更加明顯,，基本沒(méi)有玻璃襯底的信號(hào)。
4
XRR-X射線反射率
25nm-Si/50nm-Si0.85Ge0.15/Si外延膜樣品的X射線反射率曲線,。利用TRIO光路中的高強(qiáng)度平行光,，即使高角度的XRR曲線，信號(hào)也非常明顯,。圖中大周期的震蕩條紋,，說(shuō)明樣品中表面存在大概3nm左右的SiO2氧化層。
5
HRXRD-高分辨衍射
LED樣品,，GaN襯底上生長(zhǎng)6層InGaN量子阱,。利用GaN(0002)峰的2θ/ω圖譜(上圖)準(zhǔn)確確定超晶格的厚度以及In的組分。下邊倒空間強(qiáng)度分布圖(RSM)說(shuō)明InGaN外延薄膜與GaN襯底是共格關(guān)系,。
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