目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>光學(xué)部件>>光譜測量系統(tǒng)>> 相位偏折測量系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統(tǒng)
偏折測量技術(shù)（PDM）又稱為相位偏折術(shù)或條紋反射法,，是一種非接觸式、低成本,、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用于平面,、球面、非球面,、離軸拋物面,、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大,、非接觸,、精度高、速度快等特點,。
上海昊量光電設(shè)備有限公司近日推出市面上shou款商業(yè)化的共軸偏折術(shù)測量系統(tǒng),，具有操作方便，檢測精度高（<15nm RMS）,應(yīng)用范圍廣等特點,。相位偏折測量 系統(tǒng)主要由ccd相機 ,、LCD顯示屏和待測件三個部分組成，系統(tǒng)配置如下圖,。LCD顯示屏投射提前生成好的結(jié)構(gòu)光正弦條紋,，正弦條紋被待測鏡表面反射后發(fā)生畸變，CCD相機采集畸變后的條紋,，再利用相位斜率映射關(guān)系從畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息,，再根據(jù)基梯度數(shù)據(jù)的面形重構(gòu)算法，重建出待測鏡的面形,。
圖1 偏折術(shù)測試系統(tǒng)
檢測精度高：<15nm RMS
測量范圍寬：能夠測量平面,、球面、非球面,、離軸拋物面,、自由曲面等；
對環(huán)境噪聲不敏感：具有非常強的抗環(huán)境干擾,；
系統(tǒng)搭建簡單,、性價比高：使用商業(yè)化的配件，對成像光路沒有特殊要求,。
圖2 平面鏡（λ/10）檢測
圖3 球面鏡（Thorlabs ,CM508-500-G01）檢測
圖4 離軸拋物面鏡檢測
圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測（右側(cè)為LUPHOScan輪廓儀測試結(jié)果）
隨著工業(yè)制造業(yè)發(fā)展,，我國在航空航天,、裝備制造、汽車工業(yè),、生物醫(yī)學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對鏡面和鏡面類等零件需求越來越大,，其已經(jīng)成為了我國在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一。制造過程中有一道必要工序就是面形檢測,，目前的常用檢測方法存在檢測效率低,，檢測精度不滿足要求等問題，隨著上海昊量光電設(shè)備有限公司相位偏折測量 系統(tǒng)（偏折術(shù)）推出,，可以有效助力我國的科技項目,。
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