目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>光學(xué)部件>>光譜測(cè)量系統(tǒng)>> Mprobe 20 薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)
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更新時(shí)間:2021-08-14 08:36:28瀏覽次數(shù):1766評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子/電池,航空航天 |
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靈敏度 | 0.1-0.5 pT/√HZ |
Mprobe 20 薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)
MProbe 20是一款桌面式單點(diǎn)薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),,只需點(diǎn)擊鼠標(biāo)薄膜厚度和折射率測(cè)量,,測(cè)量厚度范圍1nm-1mm,,MProbe 20可對(duì)多層膜層進(jìn)行測(cè)量,。不同的MProbe 20配置主要由光譜儀的波長(zhǎng)范圍和分辨率來(lái)區(qū)分,,這又決定了可以測(cè)量的材料的厚度范圍和類型,。該測(cè)量技術(shù)基于光譜反射率,具有快速,、可靠,、無(wú)損等特點(diǎn)。在世界范圍內(nèi)有成千上萬(wàn)的應(yīng)用,。
Mprobe 20 薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)配置包括:
主單元(包括光譜儀,、光源、光控制器、微處理器)
SH200A樣品臺(tái),,帶對(duì)焦鏡頭,,可微調(diào)
光導(dǎo)纖維反射探頭
TFCompanion -RA軟件、USB適配器(授權(quán)密鑰),、USB記憶棒附帶軟件發(fā)行,、用戶指南等資料
根據(jù)型號(hào)和黑色吸收體的不同,校準(zhǔn)裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
測(cè)試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜,,視型號(hào)而定
USB或LAN線(用于連接主機(jī)和PC)
24VDC電源適配器(110/220V)
核心指標(biāo):
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上測(cè)量100次)
精度:<1nm或0.2%(依賴于filmstack)
穩(wěn)定性:< 0.02nm或0.2%(每天測(cè)量20天)
光斑大小:< 1毫米
樣本尺寸:>= 10mm
參見(jiàn)下面小冊(cè)子中MProbe 20薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)可用配置的詳細(xì)規(guī)格
選型列表:
MProbe 20 | 波長(zhǎng)范圍 | 厚度范圍 |
VIS | 400nm -1100nm | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 200nm -1100nm | 1nm -75μm |
VISHR | 700nm-1700nm | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -800nm | 1nm – 5μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | 1nm -75μm |
NIRHR | 200nm -1100nm | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)